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公开(公告)号：CN116669892A
公开(公告)日：2023-08-29
申请号：CN202180085774.7
申请日：2021-11-03
申请人： 通快激光与系统工程有限公司
IPC分类号： B23K26/073
摘要： 本发明涉及一种用于分割具有透明材料的工件(1)的方法，其中借助于超短脉冲激光器(2)的超短激光脉冲将材料改性(5)沿分割线(4)引入工件(1)的透明材料中，并且随后通过分割步骤沿由此产生的材料改性面(50)对工件(1)的材料进行分割，其中激光脉冲以攻角(α)被带到工件(1)上，并且材料改性(5)是与工件(1)的材料的折射率变化相关的类型I和/或类型II改性。
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公开(公告)号：CN116367955A
公开(公告)日：2023-06-30
申请号：CN202180069492.8
申请日：2021-08-18
申请人： 通快激光与系统工程有限公司
IPC分类号： B23K26/53
摘要： 本发明涉及一种用于分离超薄玻璃(1)的方法，其中，通过超短脉冲激光器的超短激光脉冲，沿分离线(2)引入材料改性(3)到该超薄玻璃(1)中，并且该超薄玻璃(1)然后在分离步骤中沿该分离线(2)分离，其中，这些超短激光脉冲聚焦到该超薄玻璃(1)中，使得所产生的并且沿射束方向长形的焦区(46)在该超薄玻璃(1)的整个厚度(D)上延伸，并且这些超短激光脉冲具有垂直于射束传播的非径向对称的射束截面(4)。
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公开(公告)号：CN117957202A
公开(公告)日：2024-04-30
申请号：CN202280062592.2
申请日：2022-09-08
申请人： 通快激光与系统工程有限公司
摘要： 本发明涉及一种用于对具有透明材料(102)的工件(104)进行激光加工的方法，在所述方法中，借助于分束元件(106)将输入激光束(108)分束成多个子射束(116)，聚焦从分束元件(106)中耦出的子射束(116)，其中，通过聚焦子射束(116)形成多个焦点元素(120)，并且，其中，彼此相邻的焦点元素(120)的间距(d)为至少3μm和/或至多70μm，并且，在所述方法中，为了进行激光加工，以焦点元素(120)加载工件(104)的材料(102)。
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公开(公告)号：CN117794874A
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202280054152.2
申请日：2022-08-03
申请人： 通快激光与系统工程有限公司
IPC分类号： C03B33/02 , B23K26/067 , B23K26/53
摘要： 本发明涉及一种用于激光加工工件(104)的方法，所述工件具有对于所述激光加工而言透明的材料(102)，在所述方法中，借助分束元件(106)将输入激光射束(108)划分为多个子射束(116)，其中，借助所述分束元件(106)对所述输入激光射束(108)的划分通过对所述输入激光射束(108)的射束横截面(112)的相位施加进行，借助聚焦光学器件(118)将从所述分束元件(106)中耦出的子射束(116)聚焦，通过将所述子射束(116)聚焦构造多个焦点元(120)，并且在所述方法中，给所述工件(104)的材料(102)加载所构造的焦点元(120)的至少一个子集，用于所述激光加工。借助所述分束元件(106)这样进行所述相位施加，使得所构造的焦点元(120)中的至少两个焦点元具有不同的强度(I)。
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公开(公告)号：CN107003530A
公开(公告)日：2017-08-01
申请号：CN201580063154.8
申请日：2015-11-16
申请人： 通快激光与系统工程有限公司
摘要： 用于为了加工尤其对于激光射束来说很大程度上透明的材料(9)的激光射束(3)的射束成形的光学系统(1)，所述加工通过所述材料(9)在沿传播方向(5)拉长的聚焦区(7)中的改性实现，所述光学系统具有射束成形元件(31)，该射束成形元件构造用于接收具有横向输入强度特性(41)的所述激光射束(3)并且通过所述横向输入强度特性(31)将射束成形的相位曲线(43)施加给所述激光射束(3)。所述光学系统(1)还具有近场光学器件(33B)，该近场光学器件在射束下游以射束成形距离(Dp)相对于所述射束成形元件(31)布置并且该近场光学器件构造用于将所述激光射束(3)聚焦到所述聚焦区(7)中，其中，所施加的相位曲线(43)使得拉长的聚焦区(7)的处于所述射束成形元件(31)前面的虚拟光学图像(53)配属给所述激光射束(3)。此外，所述射束成形距离(Dp)相应于所述激光射束(3)的传播长度，在该传播长度中所施加的相位曲线(43)将所述横向输入强度特性(41)转化为在所述近场光学器件(33B)的区域中的横向输出强度特性(51)，并且所述横向输出强度特性相比于所述输入强度特性(41)具有处于射束轴线(45)外部的局部最大值(49)。
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公开(公告)号：CN116802009A
公开(公告)日：2023-09-22
申请号：CN202280012730.6
申请日：2022-01-25
申请人： 通快激光与系统工程有限公司
IPC分类号： B23K26/06
摘要： 本发明涉及一种用于在加工平面(42)中激光加工工件(14)的设备，所述设备包括：第一激光加工单元(20)，所述第一激光加工单元用于形成沿第一主延伸方向(40)延伸的第一聚焦区(38)；以及至少一个另外的激光加工单元(22；90，92)，所述至少一个另外的激光加工单元用于形成沿横向于第一主延伸方向(40)定向的另外的主延伸方向(58，60)延伸的至少一个另外的聚焦区(54，56)，第一聚焦区(38)和所述至少一个另外的聚焦区(54，56)平行于加工平面(42)地以工作距离(A；A1，A2)彼此间隔开，第一激光加工单元(20)与第一聚焦区(38)以及所述至少一个另外的激光加工单元(22；90，92)与所述至少一个另外的聚焦区(54，56)各自能够在平行于加工平面(42)定向的进给方向(78)上运动，并且工件(14)由对分别形成第一聚焦区(38)和所述至少一个另外的聚焦区(54，56)的激光束而言透光的材料(12)制成。
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公开(公告)号：CN116600934A
公开(公告)日：2023-08-15
申请号：CN202180082829.9
申请日：2021-10-29
申请人： 通快激光与系统工程有限公司
IPC分类号： B23K26/53
摘要： 本发明涉及一种用于分开至少部分透明的材料(1)的方法，其中，将呈单激光脉冲的形式和/或呈包括多个子激光脉冲形式的超短激光脉冲聚焦到所述材料(1)中，使得产生的和在光束传播方向上拉长的改性区(602)进入到所述材料(1)中并且穿透所述材料的至少一个表面(14)，其中，由此将材料改性部(3)引入到所述材料(1)中，其中，将多个材料改性部(3)沿着分开线(2)引入到所述材料(1)中，并且其中，随后借助分开步骤沿着所述分开线(2)使所述材料(1)分开，并且其中，所述单激光脉冲的脉冲能量或所述子激光脉冲的脉冲能量的总和在500μJ至50mJ的范围内。
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公开(公告)号：CN114222644A
公开(公告)日：2022-03-22
申请号：CN202080056955.2
申请日：2020-08-13
申请人： 通快激光与系统工程有限公司
IPC分类号： B23K26/362 , B23K26/382 , B23K26/402 , B23K26/70
摘要： 本发明涉及一种用于加工工件(1)的方法，包括以下步骤：借助激光辐射将多个相邻改型部(2)引入到工件(1)的材料中，在具有第一选择性的第一蚀刻过程中蚀刻工件(1)的材料，以便主要移除借助激光辐射改型的材料，以及在完成第一蚀刻过程之后，在具有不同于第一选择性的第二选择性的第二蚀刻过程中蚀刻工件(1)的材料，以便移除残留在该移除的经改型的材料之间的接条。
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公开(公告)号：CN107003530B
公开(公告)日：2020-07-24
申请号：CN201580063154.8
申请日：2015-11-16
申请人： 通快激光与系统工程有限公司
摘要： 用于为了加工尤其对于激光射束来说很大程度上透明的材料(9)的激光射束(3)的射束成形的光学系统(1)，所述加工通过所述材料(9)在沿传播方向(5)拉长的聚焦区(7)中的改性实现，所述光学系统具有射束成形元件(31)，该射束成形元件构造用于接收具有横向输入强度特性(41)的所述激光射束(3)并且通过所述横向输入强度特性(31)将射束成形的相位曲线(43)施加给所述激光射束(3)。所述光学系统(1)还具有近场光学器件(33B)，该近场光学器件在射束下游以射束成形距离(Dp)相对于所述射束成形元件(31)布置并且该近场光学器件构造用于将所述激光射束(3)聚焦到所述聚焦区(7)中，其中，所施加的相位曲线(43)使得拉长的聚焦区(7)的处于所述射束成形元件(31)前面的虚拟光学图像(53)配属给所述激光射束(3)。此外，所述射束成形距离(Dp)相应于所述激光射束(3)的传播长度，在该传播长度中所施加的相位曲线(43)将所述横向输入强度特性(41)转化为在所述近场光学器件(33B)的区域中的横向输出强度特性(51)，并且所述横向输出强度特性相比于所述输入强度特性(41)具有处于射束轴线(45)外部的局部最大值(49)。
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公开(公告)号：CN116829295A
公开(公告)日：2023-09-29
申请号：CN202280013017.3
申请日：2022-01-25
申请人： 通快激光与系统工程有限公司
IPC分类号： B23K26/046 , B23K26/70
摘要： 本发明涉及一种用于对工件进行激光加工(104)的设备，该工件具有对该激光加工透明的材料(102)，该设备包括第一射束整形装置(106)和聚焦光学器件(116)，该第一射束整形装置具有分束元件(112)，用于将输入耦合到第一射束整形装置(106)中的第一输入射束(108)分成多个子射束(114)，该聚焦光学器件被分配给第一射束整形装置(106)并用于将从第一射束整形装置(106)耦合输出的子射束(114)成像到至少一个聚焦区(122)中，其中，借助于分束元件(112)通过对第一输入射束(108)进行相位施加来对第一输入射束(108)进行分束，其中，所述子射束(114)被聚焦到至少一个聚焦区(122)的不同部分区域(120)中，以形成该至少一个聚焦区(122)，其中，该至少一个聚焦区(122)借助于聚焦光学器件(116)以相对于工件(104)的外侧(144；146)的至少一个调整角(α)引入该材料(102)中，以对工件进行激光加工(104)，并且其中，通过借助至少一个聚焦区(122)加载该材料(102)来在该材料(102)中产生与该材料(102)的折射率变化相关联的材料修改(156)。
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