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公开(公告)号:CN109369172A
公开(公告)日:2019-02-22
申请号:CN201811505302.9
申请日:2018-12-10
Applicant: 郑州大学
IPC: C04B35/453 , C04B35/622
Abstract: 本发明公开了低结瘤氧化铟锡靶材的制备方法,该方法包括,氧化铟粉体、氧化锡粉体研磨混匀,得到混合粉体;混合粉体与料浆液混合,真空除气,得到料浆;料浆在压力下注入成型模具,冷等静压强化,得到靶材素坯;靶材素坯在恒温恒湿环境中干燥,在空气气氛下程序升温至脱脂温度,保持设定的时间,在氧气气氛下程序升温至烧结温度,保持设定时间;停止通入氧气,程序降温至室温,得到氧化铟锡靶材。本方法的烧结温度低,烧结时间大大缩短,有效抑制了晶粒长大,保证了氧化铟锡靶材晶粒细小、分布均匀,平均晶粒度为4~6μm;相对密度大于99.6%;电阻率低至1.24×10-4Ω.cm,具有长时间溅射结瘤低、不中毒的优异性能。
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公开(公告)号:CN108516578A
公开(公告)日:2018-09-11
申请号:CN201810316728.3
申请日:2018-04-10
Applicant: 郑州大学
IPC: C01G15/00
Abstract: 本发明提供一种亚微米氧化铟粉体的制备方法,该方法具体包括将金属铟与硝酸溶液反应、得到透明溶液的步骤;利用氨水制备In(OH)3前驱体的步骤;将前驱体进行水热处理的步骤;洗涤水热处理产物的步骤;和洗涤得到的产物烘干、煅烧的步骤,最后得到亚微米氧化铟粉体。本方法使用原料种类少,不需要使用分散剂或鳌合剂,带入的杂离子少,操作简单高效、低成本,安全可靠,能够得到粒度尺寸分布窄、分散性好、结晶性能优良的亚微米In2O3粉体材料。
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公开(公告)号:CN108190943A
公开(公告)日:2018-06-22
申请号:CN201810281107.6
申请日:2018-04-02
Applicant: 郑州大学
Abstract: 本发明提供一种金属锡氧化合成纳米二氧化锡的方法,该方法具体包括:将金属锡与硝酸溶液反应,得到含有锡酸的浆料;将含有锡酸的浆料进行水热处理;然后将所得浆料进行洗涤;最后将所得浆料烘干、煅烧,得到纳米二氧化锡。本方法工艺过程简单,安全可靠,使用原料少,带入的杂离子少,所得产物纯度高、分散性好、结晶度高。
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