公开(公告)号：CN118308696A

公开(公告)日：2024-07-09

申请号：CN202410514647.X

申请日：2024-04-26

申请人： 郑州大学

发明人： 吴小超 ,  李庆奎 ,  周天鑫 ,  张龙振 ,  罗宁 ,  杨家强 ,  王成铎 ,  杨凯军 ,  何季麟

IPC分类号： C23C14/34 ,  C22C1/04 ,  B22F3/14 ,  B22F5/00

摘要： 本发明实施例公开了基于镍钛预合金化的钼镍钛合金靶材的制备方法，包括镍钛预合金化得到镍钛预合金粉末的步骤S1和镍钛预合金粉末与钼粉末烧结得到钼镍钛合金靶材的步骤S2，其中，步骤S1包括：设定量的镍粉与钛粉混合，在惰性气氛环境下球磨处理，得到镍钛预合金粉末；步骤S2包括：S201、镍钛预合金粉末与钼粉混合，得到钼镍钛混合粉体；S202、钼镍钛混合粉体烧结，得到钼镍钛合金靶材。步骤S1中，球磨得到镍钛预合金粉末的过程中加入设定量的硬脂酸，有利于极大提高镍钛预合金粉末的收粉率，达到99％以上，并使用该预合金粉末制备出钼镍钛合金靶材，通过降低钛原子的固溶度和高硬度相Ni3Ti的含量，使得塑性相比于普通混粉得到提高。