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公开(公告)号：CN111106506A
公开(公告)日：2020-05-05
申请号：CN201911257016.X
申请日：2019-12-10
申请人： 郑州大学
摘要： 本发明涉及一种基于表面等离激元的硅基纳米激光器的制备方法：在硅衬底上生长SiO2基层；采用ICP干法刻蚀和HF湿法腐蚀相结合的方法在SiO2层上沿着Si衬底的 方向刻蚀出多个沟槽；分别用HF溶液和去离子水清洗，除去沟槽底部剩余的SiO2基层，露出硅衬底；采用KOH溶液，在沟槽底部向硅衬底延伸腐蚀出开口向上的V型结构；采用MOCVD设备在V型结构内依次生长缓冲层、隔离层和多量子阱层；采用磁控溅射的方法，在多量子阱层上沉积SiO2介质层，然后在顶面沉积金属层，完成器件的制备；选择合适的泵浦光源照射金属层和介质层交界面，激发表面等离子体波，产生激射光。本发明在Si衬底上的V型纳米沟槽内异质外延高质量的InGaAs/InP多量子阱结构，从而在纳米尺度的谐振腔内实现Si基纳米激光器的激射，实现与微电子器件的尺寸相匹配，实现Si基光电集成的目的。
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公开(公告)号：CN109555980B
公开(公告)日：2020-02-07
申请号：CN201811568740.X
申请日：2018-12-21
申请人： 郑州大学
摘要： 本发明公开了一种振动波微纳电容传感器，包括外壳，外壳包括上半壳和下半壳，上半壳和下半壳之间固定设置有隔离薄膜；隔离薄膜与上半壳构成第一腔室，所述的隔离薄膜与下半壳构成第二腔室，所述的第一腔室和第二腔室体积相等；隔离薄膜的上壁镀有第一金属膜，上半壳的内壁镀有上金属膜，第一腔室中充有第一气体作为电介质，构成第一电容；隔离薄膜的下壁镀有第二金属膜，下半壳的内壁镀有下金属膜，第二腔室中充有第二气体作为电介质，构成第二电容。本发明提供一种振动波微纳电容传感器，能够灵敏的反映流体管道振动波特性，并提供一种流体管道振动波监测阵列系统，利用监测阵列全面监测流体管道的振动波，反映流体管道中的奇点。
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公开(公告)号：CN109639176B
公开(公告)日：2020-01-31
申请号：CN201811425304.7
申请日：2018-11-27
申请人： 郑州大学
摘要： 本发明基于流体输运管道中存在多种类型的能量的认识，针对将纳米发电技术用于长距离流体输运管道的能量采集装置的技术问题，提供一种流体输运管道节点适用的多能量发电微纳囊及采能阵列，所述发电微纳囊置于流体输运管道节点处的流体内使用且发电微纳囊的外表面进行绝缘设计，发电微纳囊为由顶壁、底壁和侧壁围合而成的密封结构且发电微纳囊的内部中空，发电微纳囊设有摩擦发电单元和/或压电发电单元和/或卡门涡街发电单元和/或电磁感应单元；本发明能够将多种形式的能量都能够予以充分收集利用，从而为管道智能化检测和高精度定位维修等提供能源支持。
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公开(公告)号：CN109639176A
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201811425304.7
申请日：2018-11-27
申请人： 郑州大学
摘要： 本发明基于流体输运管道中存在多种类型的能量的认识，针对将纳米发电技术用于长距离流体输运管道的能量采集装置的技术问题，提供一种流体输运管道节点适用的多能量发电微纳囊及采能阵列，所述发电微纳囊置于流体输运管道节点处的流体内使用且发电微纳囊的外表面进行绝缘设计，发电微纳囊为由顶壁、底壁和侧壁围合而成的密封结构且发电微纳囊的内部中空，发电微纳囊设有摩擦发电单元和/或压电发电单元和/或卡门涡街发电单元和/或电磁感应单元；本发明能够将多种形式的能量都能够予以充分收集利用，从而为管道智能化检测和高精度定位维修等提供能源支持。
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公开(公告)号：CN109555980A
公开(公告)日：2019-04-02
申请号：CN201811568740.X
申请日：2018-12-21
申请人： 郑州大学
摘要： 本发明公开了一种振动波微纳电容传感器，包括外壳，外壳包括上半壳和下半壳，上半壳和下半壳之间固定设置有隔离薄膜；隔离薄膜与上半壳构成第一腔室，所述的隔离薄膜与下半壳构成第二腔室，所述的第一腔室和第二腔室体积相等；隔离薄膜的上壁镀有第一金属膜，上半壳的内壁镀有上金属膜，第一腔室中充有第一气体作为电介质，构成第一电容；隔离薄膜的下壁镀有第二金属膜，下半壳的内壁镀有下金属膜，第二腔室中充有第二气体作为电介质，构成第二电容。本发明提供一种振动波微纳电容传感器，能够灵敏的反映流体管道振动波特性，并提供一种流体管道振动波监测阵列，利用监测阵列全面监测流体管道的振动波，反映流体管道中的奇点。
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