高致密、高塑性钼镍钛合金靶材及其制备方法

    公开(公告)号:CN116356170A

    公开(公告)日:2023-06-30

    申请号:CN202310373024.0

    申请日:2023-04-10

    申请人: 郑州大学

    摘要: 本发明实施例公开了高致密、高塑性钼镍钛合金靶材及其制备方法;制备方法包括:取设定量的钼粉、镍粉和钛粉,混合得到混合粉体;将混合粉体真空封装;真空封装的混合粉体在冷等静压模具中进行冷等静压压制,得到钼镍钛生坯;将得到的钼镍钛生坯进行真空烧结;将真空烧结后的钼镍钛生坯进行热等静压压制,得到高致密、高塑性钼镍钛合金靶材。能够控制钼镍钛合金靶材中的氧含量,提高钼镍钛合金靶材致密度,降低含氧固溶物的含量,提高钼镍钛合金靶材塑性,得到高致密、高塑性钼镍钛合金靶材。