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公开(公告)号:CN118458827A
公开(公告)日:2024-08-09
申请号:CN202410584274.3
申请日:2024-05-11
摘要: 本发明涉及气体传感器技术领域,提供了一种碳纳米管‑氧化钨复合材料及制备方法和应用,该复合材料包括经酸化处理的碳纳米管和纳米氧化钨。通过将酸化处理的半导体型碳纳米管掺入氧化钨,利用碳纳米管优异的导电特性提高复合材料的电导率,并使酸性化学活性基团成为化学吸附气体的中心,从而显著降低气敏元件的电阻值,使气体传感器能在室温下发挥优异的气敏性能。
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公开(公告)号:CN118684219A
公开(公告)日:2024-09-24
申请号:CN202410835957.1
申请日:2024-06-26
申请人: 清华大学
IPC分类号: C01B32/162 , C01B32/168 , B82Y30/00 , B82Y40/00
摘要: 本发明公开了一种超长水平阵列碳纳米管及其制备方法,所述方法包括:将催化剂负载在碳纳米管薄膜上,然后将负载催化剂的碳纳米管薄膜包覆在生长基底一侧;将所述生长基底置于反应器中,通入保护气并升温至反应温度;向所述反应器中通入含有碳源的气体,以便在所述生长基底上制备得到所述超长水平阵列碳纳米管。由此,能够实现超长碳纳米管在大尺寸晶圆级硅片表面的高密度顺排生长。
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