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公开(公告)号：CN101547741B
公开(公告)日：2012-02-01
申请号：CN200780044905.7
申请日：2007-11-30
申请人： 野村微科学股份有限公司
摘要： 本发明提供一种添加了螯合剂的药液的精制方法，其从在半导体制造工序中使用的含有具有形成螯合能力的化合物的药液中除去螯合物，并且使洗涤负荷减轻。在半导体制造工序中使用的含有具有形成螯合能力的化合物的药液的精制方法中，通过用有机络合物吸附体来处理碱性药液，将由上述药液中含有的镍、铜等杂质金属形成的螯合物除去。
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公开(公告)号：CN100437925C
公开(公告)日：2008-11-26
申请号：CN200480007247.0
申请日：2004-03-18
申请人： 野村微科学股份有限公司
IPC分类号： H01L21/304 , B24B57/02 , B24B37/00 , B01J45/00 , B01J47/12
摘要： 本发明提供一种可在不改变pH值的条件下高效地精制半导体研磨用浆料，并且可以尽可能地防止对被处理对象的金属污染，同时可顺利地实现研磨浆料的循环使用的半导体研磨浆料精制用原材料、半导体研磨浆料精制用模块和使用它们的研磨用浆料的精制方法。其特征在于，在纤维基材的至少表面上固定有具有金属螯合物形成能力的官能团、或者官能团和羟基。所述的半导体研磨浆料精制用原材料例如以研磨浆料的液流可通过的方式装在带有研磨浆料的流入口和流出口的容器内。
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公开(公告)号：CN1771586A
公开(公告)日：2006-05-10
申请号：CN200480007247.0
申请日：2004-03-18
申请人： 野村微科学股份有限公司
IPC分类号： H01L21/304 , B24B57/02 , B24B37/00 , B01J45/00 , B01J47/12
CPC分类号： B24B37/00 , B01J45/00 , B01J47/127 , B24B57/02 , C23F1/46
摘要： 本发明提供一种可在不改变pH值的条件下高效地精制半导体研磨用浆料，并且可以尽可能地防止对被处理对象的金属污染，同时可顺利地实现研磨浆料的循环使用的半导体研磨浆料精制用原材料、半导体研磨浆料精制用模块和使用它们的研磨用浆料的精制方法。其特征在于，在纤维基材的至少表面上固定有具有金属螯合物形成能力的官能团、或者官能团和羟基。所述的半导体研磨浆料精制用原材料例如以研磨浆料的液流可通过的方式装在带有研磨浆料的流入口和流出口的容器内。
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公开(公告)号：CN101558298A
公开(公告)日：2009-10-14
申请号：CN200780044034.9
申请日：2007-11-26
申请人： 野村微科学股份有限公司
CPC分类号： G01N31/22
摘要： 本发明提供一种可简便且现场对含在样品液中的超微量的镍及/或铜进行定量的定量方法、以及该方法所用的装置。镍及/或铜的定量方法具备：在含有未知浓度的镍及/或铜的样品液中添加用于与镍及铜形成络合物的络合物形成剂，从而形成显色的微粒状的镍络合物及/或铜络合物的工序；和从显色的微粒状的镍络合物及/或铜络合物中对镍及/或铜进行定量的工序。
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公开(公告)号：CN101547741A
公开(公告)日：2009-09-30
申请号：CN200780044905.7
申请日：2007-11-30
申请人： 野村微科学股份有限公司
摘要： 本发明提供一种添加了螯合剂的药液的精制方法，其从在半导体制造工序中使用的含有具有形成螯合能力的化合物的药液中除去螯合物，并且使洗涤负荷减轻。在半导体制造工序中使用的含有具有形成螯合能力的化合物的药液的精制方法中，通过用有机络合物吸附体来处理碱性药液，将由上述药液中含有的镍、铜等杂质金属形成的螯合物除去。
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