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发明授权
在CMOS电路中使用具有NV色心的金刚石纳米晶体的装置和方法

公开(公告)号：CN113874743B

公开(公告)日：2024-11-19

申请号：CN202080039101.3

申请日：2020-05-17

申请人： 量子技术有限公司

发明人： 简·梅耶尔 , 贝恩德·布尔查德

IPC分类号： G01R33/032 , C30B29/04 , G01R33/24 , H01L27/15 , H01L33/00