公开(公告)号：CN112201724A

公开(公告)日：2021-01-08

申请号：CN202010990550.8

申请日：2020-09-19

申请人： 镇江仁德新能源科技有限公司 ,  镇江荣德新能源科技有限公司

发明人： 刘瑞鸿 ,  姬俊杰 ,  冯永康 ,  余刚 ,  常传波

IPC分类号： H01L31/18 ,  H01L31/0236 ,  C30B33/00 ,  C30B29/06

摘要： 本发明涉及一种金刚线切割多晶硅片制绒工艺，包括如下步骤：步骤一，采用碱性抛光液对多晶硅片进行化学抛光处理；步骤二，采用镀挖一体处理液对抛光后的硅片进行挖孔处理，在硅片表面制备出纳米孔洞；步骤三，采用脱银处理液对挖孔后的多晶硅片进行脱银处理，脱除硅片表面银颗粒；步骤四，采用扩孔处理液对脱银处理后的硅片进行扩孔处理，在硅片表面形成亚微米或微米级的孔洞。本发明通过对抛光、镀银挖孔、脱银、扩孔的合理控制，使得整个黑硅制绒过程便于控制，简化了制绒步骤，节省槽体数量和设备空间，降低了成本；提高开路电压，提高了组件的CTM；通过优化镀银添加剂组分，降低银含量，配合合理的污水处理工艺，降低了废液处理成本。