-
公开(公告)号：CN108972302A
公开(公告)日：2018-12-11
申请号：CN201811171292.X
申请日：2018-10-01
Applicant: 长春工业大学
Abstract: 本发明涉及一种非谐振式振动辅助抛光装置及方法，属于超精密加工领域。Y轴直线导轨安装在大理石框架上，X轴直线导轨安装在大理石框架上，Z轴直线导轨通过螺钉与X轴直线导轨连接，抛光刀具运动平台与Z轴直线导轨连接，精密摆动台通过螺钉与Y轴直线导轨连接，旋转振动平台通过螺钉与精密摆动台连接。优点是：抛光效率高，振动的频率和振幅均可调节，可控性好，适用性得到提高；能够对一些具有简单曲面结构的硬脆陶瓷材料工件进行抛光，且具有抛光速率快、抛光精度高和可控性佳等优点，提高了装置的实用性。
-
公开(公告)号：CN110018612A
公开(公告)日：2019-07-16
申请号：CN201810020867.1
申请日：2018-01-10
Applicant: 长春工业大学
IPC: G03F7/00
Abstract: 一种可制备复杂微结构的纳米压印装置，首先放卷辊放出衬底，涂胶辊将光刻胶涂在衬底上，将衬底传送到压印装置下方，加热辊将光刻胶加热到玻璃化温度，压印辊一进行压印，然后固化，之后通过刻蚀装置清除残余层，衬底再次回到压印装置下方，再进行加热，旋转盘将压印辊二转至第一次压印后的光刻胶上方，压印辊二进行压印，压印辊二压印完成后,重复以上步骤至压印辊三压印完成后，再将得到的复杂微结构的衬底通过收卷辊收集起来。本发明通过多辊压印制备复杂微结构，能够在较低成本下快速有效的制备复杂微纳结构，方法简单，装置及加工实现成本相对较低，且制备图案精度较高，减少了误差，避免了对衬底上图案和模板损伤及更换模板成本问题。
-
公开(公告)号：CN110018612B
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN201810020867.1
申请日：2018-01-10
Applicant: 长春工业大学
IPC: G03F7/00
Abstract: 一种可制备复杂微结构的纳米压印装置，首先放卷辊放出衬底，涂胶辊将光刻胶涂在衬底上，将衬底传送到压印装置下方，加热辊将光刻胶加热到玻璃化温度，压印辊一进行压印，然后固化，之后通过刻蚀装置清除残余层，衬底再次回到压印装置下方，再进行加热，旋转盘将压印辊二转至第一次压印后的光刻胶上方，压印辊二进行压印，压印辊二压印完成后,重复以上步骤至压印辊三压印完成后，再将得到的复杂微结构的衬底通过收卷辊收集起来。本发明通过多辊压印制备复杂微结构，能够在较低成本下快速有效的制备复杂微纳结构，方法简单，装置及加工实现成本相对较低，且制备图案精度较高，减少了误差，避免了对衬底上图案和模板损伤及更换模板成本问题。
-
公开(公告)号：CN110221518A
公开(公告)日：2019-09-10
申请号：CN201810176362.4
申请日：2018-03-03
Applicant: 长春工业大学
Inventor： 谷岩 , 林洁琼 , 于保军 , 冯开拓 , 李景鹏 , 张群 , 郑恭承 , 易正发 , 戴得恩 , 康洺硕 , 曹东旭 , 张哲名 , 徐梓苏 , 苍新宇 , 付斌 , 王亚坤
IPC: G03F7/00
Abstract: 本发明涉及一种可精确控制的滚压装置及方法，其包括底座、支撑板、放卷辊、衬底、张紧辊、涂胶装置、支撑辊、压印装置、支座、固化装置、收卷辊、伺服电机，其中，支撑板垂直于底座并固连在其上，涂胶装置、放卷辊、收卷辊与支撑辊固定在支撑板之间，收卷辊与伺服电机相连，衬底包覆于放卷辊与收卷辊上，并由支撑辊支撑，压印装置固连在支座上，其下方设有固化装置，固化装置固连在底座上。本发明通过调节装置上的音圈电机调节从而调整了压印辊在X、Y、Z轴三个方向上的位移，减小了卷对卷压印过程中压印辊和背辊之间的形位误差；通过柔性铰链自适应调节，增强了模板与衬底形成良好的共形接触的效果；装置结构简单，可实现快速、大面积生产。
-
公开(公告)号：CN108972302B
公开(公告)日：2024-01-23
申请号：CN201811171292.X
申请日：2018-10-01
Applicant: 长春工业大学
Abstract: 本发明涉及一种非谐振式振动辅助抛光装置及方法，属于超精密加工领域。Y轴直线导轨安装在大理石框架上，X轴直线导轨安装在大理石框架上，Z轴直线导轨通过螺钉与X轴直线导轨连接，抛光刀具运动平台与Z轴直线导轨连接，精密摆动台通过螺钉与Y轴直线导轨连接，旋转振动平台通过螺钉与精密摆动台连接。优点是：抛光效率高，振动的频率和振幅均可调节，可控性好，适用性得到提高；能够对一些具有简单曲面结构的硬脆陶瓷材料工件进行抛光，且具有抛光速率快、抛光精度高和可控性佳等优点，提高了装置的实用性。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110221518B
公开(公告)日：2023-11-28
申请号：CN201810176362.4
申请日：2018-03-03
Applicant: 长春工业大学
Inventor： 谷岩 , 林洁琼 , 于保军 , 冯开拓 , 李景鹏 , 张群 , 郑恭承 , 易正发 , 戴得恩 , 康洺硕 , 曹东旭 , 张哲名 , 徐梓苏 , 苍新宇 , 付斌 , 王亚坤
IPC: G03F7/00
Abstract: 本发明涉及一种可精确控制的滚压装置及方法，其包括底座、支撑板、放卷辊、衬底、张紧辊、涂胶装置、支撑辊、压印装置、支座、固化装置、收卷辊、伺服电机，其中，支撑板垂直于底座并固连在其上，涂胶装置、放卷辊、收卷辊与支撑辊固定在支撑板之间，收卷辊与伺服电机相连，衬底包覆于放卷辊与收卷辊上，并由支撑辊支撑，压印装置固连在支座上，其下方设有固化装置，固化装置固连在底座上。本发明通过调节装置上的音圈电机调节从而调整了压印辊在X、Y、Z轴三个方向上的位移，减小了卷对卷压印过程中压印辊和背辊之间的形位误差；通过柔性铰链自适应调节，增强了模板与衬底形成良好的共形接触的效果；装置结构简单，可实现快速、大面积生产。
-
公开(公告)号：CN108312043B
公开(公告)日：2023-10-24
申请号：CN201810323490.7
申请日：2018-04-11
Applicant: 长春工业大学
Abstract: 本发明涉及一种辊型振动辅助抛光装置及方法，属于超精密加工领域。Z向运动平台通过螺钉与Z轴运动系统一和Z轴运动系统二连接，Z轴运动系统一和Z轴运动系统二通过螺钉与底座平台连接，X向运动平台一通过螺钉与X轴运动系统一和X轴运动系统二连接，X轴运动系统一和X轴运动系统二通过螺钉与底座平台连接，X向运动平台二通过螺钉与X轴运动系统三连接，X轴运动系统三通过螺钉与底座平台连接，复式振动平台通过螺钉与X向运动平台二连接。本发明具有抛光效率高、抛光均匀性和一致性好、可以完成对曲面的抛光处理和实时在线修整等优点。
-
公开(公告)号：CN110361928A
公开(公告)日：2019-10-22
申请号：CN201810318345.X
申请日：2018-04-11
Applicant: 长春工业大学
Inventor： 谷岩 , 杨士通 , 刘亚梅 , 戴得恩 , 陈斯 , 李景鹏 , 张群 , 郑恭承 , 易正发 , 冯开拓 , 卢昊 , 杨振 , 王俊强 , 张哲名 , 苍新宇 , 徐梓苏 , 付斌
IPC: G03F7/00
Abstract: 一种二维辅助振动的压印装置及方法，其包括工作台、XY轴位移台、Z轴位移台、二维微动平台、压印装置、加热板。涂胶后的衬底置于二维微动平台上，XY轴位移台将二维微动平台移动到模板下方，加热板对光刻胶进行预热，光刻胶未达到玻璃化温度，预热完成后，启动二维微动平台并带动衬底实现二维振动，Z轴位移台控制压印装置对衬底进行压印，压印完成后在空气中冷却固化，最后进行振动辅助脱模，本发明采用二维微动平台带动衬底实现压印时X轴、Y轴振动，使压印过程产生剪切变形进而使光刻胶非弹性变形或流动，提高模板空腔的填充率，增强压印图案的保真度，提高压印效率，降低脱模时的粘附力，对大尺寸特征以及高纵宽比的微结构压印成型十分有利。
-
公开(公告)号：CN110355988A
公开(公告)日：2019-10-22
申请号：CN201810318408.1
申请日：2018-04-11
Applicant: 长春工业大学
Inventor： 谷岩 , 林洁琼 , 卢明明 , 易正发 , 陈斯 , 李景鹏 , 张群 , 郑恭承 , 戴得恩 , 冯开拓 , 卢昊 , 杨振 , 王俊强 , 张哲名 , 苍新宇 , 徐梓苏 , 付斌
IPC: B29C59/04
Abstract: 本发明公开了一种二维振动辅助的辊对平面热压印装置及方法，调节X-Y工作平台，使衬底位于压印辊正下方，启动加热装置对衬底进行预热，再由Z轴位移平台调控升降平台使压印装置向下运动，直至压印辊与衬底微接触，并进行压印，在压印的同时使用二维振动平台对衬底进行二维振动，压印完成后进行冷却固化并使用二维振动辅助脱模，最后控制升降装置上升，压印结束。本发明采用二维振动平台带动衬底实现压印时X-Y方向振动，使压印过程模具与固态胶层之间产生剪切变形，使固态胶非弹性变形或流动，图案根部有残留应力，使高深宽比图案不坍塌，并通过振动振散分子结构以减少粘附力，从而减少模板与聚合物脱离时造成的损伤与毁坏，增大微纳图案的效率与保真度。
-
公开(公告)号：CN108312043A
公开(公告)日：2018-07-24
申请号：CN201810323490.7
申请日：2018-04-11
Applicant: 长春工业大学
Abstract: 本发明涉及一种辊型振动辅助抛光装置及方法，属于超精密加工领域。Z向运动平台通过螺钉与Z轴运动系统一和Z轴运动系统二连接，Z轴运动系统一和Z轴运动系统二通过螺钉与底座平台连接，X向运动平台一通过螺钉与X轴运动系统一和X轴运动系统二连接，X轴运动系统一和X轴运动系统二通过螺钉与底座平台连接，X向运动平台二通过螺钉与X轴运动系统三连接，X轴运动系统三通过螺钉与底座平台连接，复式振动平台通过螺钉与X向运动平台二连接。本发明具有抛光效率高、抛光均匀性和一致性好、可以完成对曲面的抛光处理和实时在线修整等优点。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
19
records
(took 0.035 seconds)
