公开(公告)号：CN1511338A

公开(公告)日：2004-07-07

申请号：CN03800308.2

申请日：2003-03-24

Applicant: 长濑化成株式会社

Inventor： 齐藤丰 ,  堀内良昭

IPC: H01L21/308 ,  C09K13/00

CPC classification number: C09K13/06 ,  C09K13/08 ,  H01L31/1884 ,  Y02E10/50

Abstract: 本发明涉及含有含全氟烷基磷酸化合物、草酸和水的蚀刻液组合物。若使用该蚀刻液组合物，则可以不会产生残渣且不会发泡、精度良好地对由氧化铟锡形成的透明电极膜进行蚀刻。

公开(公告)号：CN1476489A

公开(公告)日：2004-02-18

申请号：CN02803144.X

申请日：2002-10-09

Applicant: 长濑化成株式会社

Inventor： 斋藤丰 ,  堀内良昭

IPC: C23F1/30

CPC classification number: C23F1/30

Abstract: 含有多元羧酸、磷酸、硝酸、和水的银或银合金用蚀刻液组合物。该多元羧酸优选为，选自草酸、丙二酸、丁二酸、戊二酸、乌头酸、氧代戊二酸、马来酸、柠康酸、苹果酸、酒石酸、以及柠檬酸的至少一种。