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公开(公告)号：CN1511338A
公开(公告)日：2004-07-07
申请号：CN03800308.2
申请日：2003-03-24
Applicant: 长濑化成株式会社
IPC: H01L21/308 , C09K13/00
CPC classification number: C09K13/06 , C09K13/08 , H01L31/1884 , Y02E10/50
Abstract: 本发明涉及含有含全氟烷基磷酸化合物、草酸和水的蚀刻液组合物。若使用该蚀刻液组合物，则可以不会产生残渣且不会发泡、精度良好地对由氧化铟锡形成的透明电极膜进行蚀刻。
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