公开(公告)号：CN104221134A

公开(公告)日：2014-12-17

申请号：CN201380019198.1

申请日：2013-03-27

Applicant: 长濑化成株式会社 ,  夏普株式会社

Inventor： 大井阳介 ,  广庭大辅 ,  桥本敬宏 ,  圆山洋介

IPC: H01L21/38 ,  H01L21/225 ,  H01L31/04

CPC classification number: H01L31/02168 ,  H01L21/2225 ,  H01L21/2254 ,  H01L21/2255 ,  H01L31/068 ,  H01L31/0682 ,  H01L31/1804 ,  Y02E10/547 ,  Y02P70/521

Abstract: 本发明提供一种涂布扩散剂组合物，其能够抑制析出物的产生，与现有的不含水的PTG液相比，化学药品寿命较长，即使大量地生产PTG液，也能够长期稳定地保存，成本低。本发明的涂布扩散剂组合物含有钛酸酯、磷化合物、水及有机溶剂。