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公开(公告)号:CN106029759B
公开(公告)日:2019-08-16
申请号:CN201480075435.0
申请日:2014-12-10
CPC分类号: C09D187/005 , B01J31/06 , B05D3/06 , B81C1/00031 , B81C2201/0149 , C08F293/005 , C08F2438/02 , C08J9/26 , C09D153/00 , G03F7/0002 , H01L21/0271
摘要: 本发明涉及用于在基底上制造自组装的嵌段共聚物膜的方法,所述方法由以下构成:借助于含不同化学性质且不混溶的嵌段共聚物和统计共聚物的混合物的溶液同时沉积嵌段共聚物和统计共聚物,然后实施退火处理以便促进嵌段共聚物的自组装体固有的相偏析。
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公开(公告)号:CN106029759A
公开(公告)日:2016-10-12
申请号:CN201480075435.0
申请日:2014-12-10
CPC分类号: C09D187/005 , B01J31/06 , B05D3/06 , B81C1/00031 , B81C2201/0149 , C08F293/005 , C08F2438/02 , C08J9/26 , C09D153/00 , G03F7/0002 , H01L21/0271
摘要: 本发明涉及用于在基底上制造自组装的嵌段共聚物膜的方法,所述方法由以下构成:借助于含不同化学性质且不混溶的嵌段共聚物和统计共聚物的混合物的溶液同时沉积嵌段共聚物和统计共聚物,然后实施退火处理以便促进嵌段共聚物的自组装体固有的相偏析。
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