公开(公告)号：CN107036527B

公开(公告)日：2019-09-06

申请号：CN201610876405.0

申请日：2016-10-08

申请人： 陈亮嘉

发明人： 陈亮嘉 ,  尤泽龙

IPC分类号： G01B9/02 ,  G01B11/24 ,  G01B11/26

摘要： 本发明公开了一种光学系统、一种光学干涉系统以及一种同步测量绝对寻址距离与偏摆角度的光学方法，其中，该光学系统包括聚焦透镜、双折射分光元件以及分光元件。该双折射分光元件用以将聚焦透镜聚焦的光束分光，形成偏极态相互正交的第一偏极光与第二偏极光。该分光元件用以将该第一偏极光与第二偏极光分光，使部分第一偏极光与第二偏极光由该分光元件反射形成第一参考光与第二参考光，部分第一偏极光与第二偏极光穿透该分光元件投射至一对象上反射形成第一物光与第二物光，该第一物光与该第二物光进入该分光元件，从而分别与该第一参考光与第二参考光干涉形成第一干涉光与第二干涉光，再由该双折射分光元件合光，形成不相互干涉的一合光光束。

公开(公告)号：CN107036527A

公开(公告)日：2017-08-11

申请号：CN201610876405.0

申请日：2016-10-08

申请人： 陈亮嘉

发明人： 陈亮嘉 ,  尤泽龙

IPC分类号： G01B9/02 ,  G01B11/24 ,  G01B11/26

摘要： 本发明公开了一种光学系统、一种光学干涉系统以及一种同步测量绝对寻址距离与偏摆角度的光学方法，其中，该光学系统包括聚焦透镜、双折射分光元件以及分光元件。该双折射分光元件用以将聚焦透镜聚焦的光束分光，形成偏极态相互正交的第一偏极光与第二偏极光。该分光元件用以将该第一偏极光与第二偏极光分光，使部分第一偏极光与第二偏极光由该分光元件反射形成第一参考光与第二参考光，部分第一偏极光与第二偏极光穿透该分光元件投射至一对象上反射形成第一物光与第二物光，该第一物光与该第二物光进入该分光元件，从而分别与该第一参考光与第二参考光干涉形成第一干涉光与第二干涉光，再由该双折射分光元件合光，形成不相互干涉的一合光光束。