公开(公告)号：CN114264841B

公开(公告)日：2023-11-14

申请号：CN202111422447.4

申请日：2021-11-26

申请人： 陕西华燕航空仪表有限公司

发明人： 穆清涛 ,  陈晓峰 ,  范军旗 ,  张智杰 ,  黄树峰 ,  陶志远

IPC分类号： G01P15/125

摘要： 本发明提供了一种高灵敏度开环MEMS加速度计传感器结构，各结构部分对称分布；敏感质量体利用多组并联关系的支承梁支承，当受到外部加速度信号输入时，发生微小位移，并引起检测电极电容值变化。通过解调检测电极的电容值得到输入加速度的大小。在正交补偿电极上施加一定电压，能够驱动敏感质量体发生微小旋转，以消除传感器结构加工误差，有利于提高传感器的精度。框架结构上的锚点，能够在敏感期质量体受到过大加速度输入时，物理阻止敏感期质量体发生过大位移，造成结构体损坏和梳齿吸附。本装置减小传感器加工误差，提高了传感器工作的稳定性，支撑牢靠，不再限制并提升了MEMS加速度计的工作特性。

公开(公告)号：CN114264841A

公开(公告)日：2022-04-01

申请号：CN202111422447.4

申请日：2021-11-26

申请人： 陕西华燕航空仪表有限公司

发明人： 穆清涛 ,  陈晓峰 ,  范军旗 ,  张智杰 ,  黄树峰 ,  陶志远

IPC分类号： G01P15/125

摘要： 本发明提供了一种高灵敏度开环MEMS加速度计传感器结构，各结构部分对称分布；敏感质量体利用多组并联关系的支承梁支承，当受到外部加速度信号输入时，发生微小位移，并引起检测电极电容值变化。通过解调检测电极的电容值得到输入加速度的大小。在正交补偿电极上施加一定电压，能够驱动敏感质量体发生微小旋转，以消除传感器结构加工误差，有利于提高传感器的精度。框架结构上的锚点，能够在敏感期质量体受到过大加速度输入时，物理阻止敏感期质量体发生过大位移，造成结构体损坏和梳齿吸附。本装置减小传感器加工误差，提高了传感器工作的稳定性，支撑牢靠，不再限制并提升了MEMS加速度计的工作特性。

公开(公告)号：CN213688375U

公开(公告)日：2021-07-13

申请号：CN202022121852.X

申请日：2020-09-24

申请人： 陕西华燕航空仪表有限公司

发明人： 史凯 ,  毛冠军 ,  曹国军 ,  范军旗 ,  丁毅 ,  赵凡

IPC分类号： G01C19/72 ,  G01C21/18

摘要： 一种三轴一体化的小型光纤惯导，涉及光纤惯导领域，其包括机械骨架、光纤陀螺组件、以及石英挠性加速度计组件，机械骨架为正六面体；光纤陀螺组件、以及石英挠性加速度计组件分布在正六面体的六个面上。该小型光纤惯导是在三轴光纤陀螺的基础上融合三轴石英加速度计，进行一体化设计，其中三轴光纤陀螺共用一个光源，与石英加速度计组成微小型化、低成本三轴一体化光纤惯导，可以广泛应用于小型无人机、靶机、航空应急仪表、中程导弹制导、小型空空弹、精确制导炸弹、鱼雷等空间较小的飞行器导航与制导领域，在保证导航精度的前提下实现小型化。