公开(公告)号：CN101213319A

公开(公告)日：2008-07-02

申请号：CN200680024290.7

申请日：2006-05-02

申请人： 霍尼韦尔国际公司

发明人： W·H·霍尔特 ,  S·R·赛尔斯 ,  V·斯佩奇亚尔 ,  S·费拉斯 ,  H·A·德特拉夫 ,  S·D·赖特 ,  F·阿尔富德 ,  A·N·A·弗拉格

IPC分类号： C23C14/34

CPC分类号： C23C14/3407 ,  H01J37/3423 ,  H01J37/3435 ,  H01J37/3497

摘要： 本发明包括具有冷却剂导流板的背板，其中各导流板的至少一部分是非线性的。从背板中凸出来的凸起部构造成能够插入到溅射靶的开口中。本发明包括具有至少一个开口的靶，所述开口接受穿过背面而延伸到靶中的紧固件。本发明包括一种靶组件，其具有从背板中凸出来并可插入到靶的开口中的凸起部。本发明包括一种具有设置在靶和背板之间的多个冷却剂导流板的靶组件。各导流板的一部分是非线性的。本发明包括冷却靶的方法。冷却剂导流板设置在靶和背板之间的间隔中，其中冷却剂导流板沿着其长度的至少一部分是非线性的。