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公开(公告)号：CN102105769B
公开(公告)日：2013-05-29
申请号：CN200980128589.0
申请日：2009-05-20
申请人： 霍尼韦尔国际公司
CPC分类号： G01L9/0054 , G01L19/0038 , G01L19/147
摘要： 一种差动压力传感器包括两个压力端口以允许介质经过而与隔膜的顶侧和底侧接触。硅压力传感器管芯可用管芯附接材料附接在所述压力端口之间以感测介质之间的差动压力而评估介质差动压力。有开口的帽可放置在硅压力管芯内形成的隔膜的顶侧上。硅压力管芯可包括可电连接到隔膜以输出电信号的管芯联结垫。所述帽可将所述管芯联结垫从恶劣介质密封并使电信号经过其内。介质可经过帽内的开口，使得到隔膜顶部的介质路径不暴露于硅压力管芯的管芯联结垫以确保长期的传感器可靠性。
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公开(公告)号：CN102105769A
公开(公告)日：2011-06-22
申请号：CN200980128589.0
申请日：2009-05-20
申请人： 霍尼韦尔国际公司
CPC分类号： G01L9/0054 , G01L19/0038 , G01L19/147
摘要： 一种差动压力传感器包括两个压力端口以允许介质经过而与隔膜的顶侧和底侧接触。硅压力传感器管芯可用管芯附接材料附接在所述压力端口之间以感测介质之间的差动压力而评估介质差动压力。有开口的帽可放置在硅压力管芯内形成的隔膜的顶侧上。硅压力管芯可包括可电连接到隔膜以输出电信号的管芯联结垫。所述帽可将所述管芯联结垫从恶劣介质密封并使电信号经过其内。介质可经过帽内的开口，使得到隔膜顶部的介质路径不暴露于硅压力管芯的管芯联结垫以确保长期的传感器可靠性。
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公开(公告)号：CN104101367A
公开(公告)日：2014-10-15
申请号：CN201410213258.X
申请日：2014-04-08
申请人： 霍尼韦尔国际公司
CPC分类号： B81B3/0081 , B81B2201/0264 , B81B2203/0127 , B81B2203/033 , G01L7/082 , G01L9/0042 , G01L9/0048 , G01L9/0054
摘要： 一种传感器组件，包括具有在其中形成腔的第一晶片以及相对于第一晶片结合从而在腔上方形成隔膜的第二晶片。在隔膜中或者环绕隔膜的第二晶片中形成沟槽，并且可以用隔离材料来填充该沟槽从而帮助热和/或电隔离隔膜。该隔膜可以支撑一个或多个感测元件。根据需要，传感器组件可以使用流量传感器、压力传感器、温度传感器、和/或任何其它适当传感器。
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公开(公告)号：CN104101367B
公开(公告)日：2018-07-24
申请号：CN201410213258.X
申请日：2014-04-08
申请人： 霍尼韦尔国际公司
CPC分类号： B81B3/0081 , B81B2201/0264 , B81B2203/0127 , B81B2203/033 , G01L7/082 , G01L9/0042 , G01L9/0048 , G01L9/0054
摘要： 一种传感器组件，包括具有在其中形成腔的第一晶片以及相对于第一晶片结合从而在腔上方形成隔膜的第二晶片。在隔膜中或者环绕隔膜的第二晶片中形成沟槽，并且可以用隔离材料来填充该沟槽从而帮助热和/或电隔离隔膜。该隔膜可以支撑一个或多个感测元件。根据需要，传感器组件可以使用流量传感器、压力传感器、温度传感器、和/或任何其它适当传感器。
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