公开(公告)号：CN102842523A

公开(公告)日：2012-12-26

申请号：CN201210209936.6

申请日：2012-06-20

Applicant: 霓佳斯株式会社 ,  东京毅力科创株式会社

Inventor： 小林诚 ,  山贺健一 ,  佐佐木章 ,  池田大延 ,  小池贵浩

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/324

CPC classification number: H01L21/67109

Abstract: 本发明提供热处理炉以及热处理装置。热处理炉包括：处理容器，其用于收容至少一个被热处理体；绝热部件，其呈圆筒状，用于覆盖该处理容器的周围；加热器，其沿该绝热部件的内周面配置，该加热器具有沿绝热部件的内周面呈螺旋状配置的波纹型的带状加热元件，加热元件具有向外侧突出的谷部和向内侧突出的峰部。

公开(公告)号：CN102842523B

公开(公告)日：2016-08-03

申请号：CN201210209936.6

申请日：2012-06-20

Applicant: 霓佳斯株式会社 ,  东京毅力科创株式会社

Inventor： 小林诚 ,  山贺健一 ,  佐佐木章 ,  池田大延 ,  小池贵浩

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/324

CPC classification number: H01L21/67109

Abstract: 本发明提供热处理炉以及热处理装置。热处理炉包括：处理容器，其用于收容至少一个被热处理体；绝热部件，其呈圆筒状，用于覆盖该处理容器的周围；加热器，其沿该绝热部件的内周面配置，该加热器具有沿绝热部件的内周面呈螺旋状配置的波纹型的带状加热元件，加热元件具有向外侧突出的谷部和向内侧突出的峰部。