公开(公告)号：CN102842523B

公开(公告)日：2016-08-03

申请号：CN201210209936.6

申请日：2012-06-20

Applicant: 霓佳斯株式会社 ,  东京毅力科创株式会社

Inventor： 小林诚 ,  山贺健一 ,  佐佐木章 ,  池田大延 ,  小池贵浩

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/324

CPC classification number: H01L21/67109

Abstract: 本发明提供热处理炉以及热处理装置。热处理炉包括：处理容器，其用于收容至少一个被热处理体；绝热部件，其呈圆筒状，用于覆盖该处理容器的周围；加热器，其沿该绝热部件的内周面配置，该加热器具有沿绝热部件的内周面呈螺旋状配置的波纹型的带状加热元件，加热元件具有向外侧突出的谷部和向内侧突出的峰部。

公开(公告)号：CN102842523A

公开(公告)日：2012-12-26

申请号：CN201210209936.6

申请日：2012-06-20

Applicant: 霓佳斯株式会社 ,  东京毅力科创株式会社

Inventor： 小林诚 ,  山贺健一 ,  佐佐木章 ,  池田大延 ,  小池贵浩

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/324

CPC classification number: H01L21/67109

Abstract: 本发明提供热处理炉以及热处理装置。热处理炉包括：处理容器，其用于收容至少一个被热处理体；绝热部件，其呈圆筒状，用于覆盖该处理容器的周围；加热器，其沿该绝热部件的内周面配置，该加热器具有沿绝热部件的内周面呈螺旋状配置的波纹型的带状加热元件，加热元件具有向外侧突出的谷部和向内侧突出的峰部。

公开(公告)号：CN102191473B

公开(公告)日：2014-11-19

申请号：CN201110057683.0

申请日：2011-03-10

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 小林诚

IPC: C23C14/54 ,  C23C16/52 ,  H01L21/203 ,  H01L21/205 ,  H01L21/22

CPC classification number: H01L21/67253 ,  C23C16/463 ,  H01L21/67109

Abstract: 本发明提供立式热处理装置及其冷却方法。其一边将炉主体和处理容器之间的空间内高精度地保持为微负压一边对该空间内进行强制冷却。立式热处理装置包括具有加热元件的炉主体和用于收容被处理体而对其实施热处理的、配置在炉主体内的处理容器。在炉主体上连接有空气供给管路和空气排气管路，在空气供给管路上配置有空气供给鼓风机和空气供给管路侧阀机构，在空气排气管路上配置有空气排气鼓风机和空气排气管路侧阀机构。利用压力检测系统检测空间内的压力，由控制部基于来自压力检测系统的检测信号控制空气供给鼓风机、空气供给管路侧阀机构、空气排气鼓风机以及空气排气管路侧阀机构，从而将空间内保持为微负压。

公开(公告)号：CN102191474B

公开(公告)日：2014-11-05

申请号：CN201110059985.1

申请日：2011-03-11

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 小林诚

IPC: C23C14/54 ,  C23C16/52 ,  H01L21/20 ,  H01L21/22 ,  H01L21/31

CPC classification number: H01L21/67109 ,  H01L21/67253

Abstract: 本发明提供压力检测系统和温度传感器的组合体以及立式热处理装置。该立式热处理装置以简单的构造设有用于检测炉主体和处理容器之间的空间内的压力的压力检测传感器。立式热处理装置包括具有加热元件的炉主体和用于收容被处理体而对其实施热处理的、配置在炉主体内的处理容器。在炉主体上连接有空气供给管路和空气排气管路，在空气供给管路上配置有空气供给鼓风机和空气供给管路侧阀机构，在空气排气管路上配置有空气排气鼓风机和空气排气管路侧阀机构。贯穿炉主体地设有收纳有温度传感器信号线的保护管，在保护管上形成有压力检测孔。在该压力检测孔上连接有压力检测传感器。

公开(公告)号：CN102856231B

公开(公告)日：2016-03-09

申请号：CN201210217199.4

申请日：2012-06-27

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 小林诚

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/324

CPC classification number: H01L21/67103 ,  H01L21/67109

Abstract: 本发明提供一种热处理炉以及热处理装置。该热处理炉具有：处理容器，其用于收容一个以上的被热处理体；绝热部件，其用于覆盖该处理容器的周围；加热单元，其沿该绝热部件的内周面配置。该绝热部件具有内侧绝热部件和相对于内侧绝热部件独立地设置的外侧绝热部件，外侧绝热部件包含被压缩的二氧化硅微粉。该外侧绝热部件的至少外表面被用于防止二氧化硅微粉飞散的飞散防止部件覆盖。

公开(公告)号：CN102191474A

公开(公告)日：2011-09-21

申请号：CN201110059985.1

申请日：2011-03-11

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 小林诚

IPC: C23C14/54 ,  C23C16/52 ,  H01L21/20 ,  H01L21/22 ,  H01L21/31

CPC classification number: H01L21/67109 ,  H01L21/67253

Abstract: 本发明提供压力检测系统和温度传感器的组合体以及立式热处理装置。该立式热处理装置以简单的构造设有用于检测炉主体和处理容器之间的空间内的压力的压力检测传感器。立式热处理装置包括具有加热元件的炉主体和用于收容被处理体而对其实施热处理的、配置在炉主体内的处理容器。在炉主体上连接有空气供给管路和空气排气管路，在空气供给管路上配置有空气供给鼓风机和空气供给管路侧阀机构，在空气排气管路上配置有空气排气鼓风机和空气排气管路侧阀机构。贯穿炉主体地设有收纳有温度传感器信号线的保护管，在保护管上形成有压力检测孔。在该压力检测孔上连接有压力检测传感器。

公开(公告)号：CN101315878B

公开(公告)日：2011-04-06

申请号：CN200810109373.7

申请日：2008-06-02

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 小林诚 ,  中尾贤

IPC: H01L21/00 ,  H05B3/66 ,  H05B3/64 ,  F27B17/00 ,  F27D5/00 ,  F27D11/02

CPC classification number: H01L21/67109 ,  F27B17/0025 ,  Y10T29/49083

Abstract: 本发明提供热处理炉及其制造方法，减少电阻发热体热膨胀收缩时支撑体与电阻发热体间的摩擦阻力，抑制电阻发热体因残留应力发生的永久变形，提高耐久性。热处理炉包括：收容被处理体并进行热处理的处理容器；包围处理容器的筒状隔热件；沿着该隔热件内周面配置的螺旋状电阻发热体；在该隔热件内周面沿轴方向平行设置，在轴方向以规定间距支撑电阻发热体的支撑体；在电阻发热体的外侧在轴方向以适当间隔配置，沿着直径方向贯通隔热件并向外部延伸的多个端子板。支撑体具有位于电阻发热体内侧的基部、从该基部通过电阻发热体间向半径方向外侧延伸的多个支撑片，形成梳状。支撑片上面部形成曲面状，以减少电阻发热体热膨胀收缩移动时的摩擦阻力。

公开(公告)号：CN101312123B

公开(公告)日：2012-06-20

申请号：CN200810100377.9

申请日：2008-03-20

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 市川贵 ,  小林诚 ,  山贺健一

IPC: H01L21/00 ,  H05B3/64 ,  H05B3/66

Abstract: 本发明提供一种热处理炉和立式热处理装置，能够急速升降温度并提高耐久性。该热处理炉(2)包括用于收纳被处理体(w)并对其进行热处理的处理容器(3)和以覆盖该处理容器(3)外周的方式设置的、用于加热被处理体(w)的圆筒状加热器(5)。该加热器(5)具有圆筒状的隔热件(16)和沿该隔热件(16)的内周面配置的发热电阻体(18)。该发热电阻体(18)由被弯曲加工成波形并且具有峰部和谷部的带状体构成，在隔热件(16)上配设有销部件(20)，该销部件(20)以适当间隔对发热电阻体(18)进行保持，使所述发热电阻体(18)能够沿加热器的径向移动。

公开(公告)号：CN102191473A

公开(公告)日：2011-09-21

申请号：CN201110057683.0

申请日：2011-03-10

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 小林诚

IPC: C23C14/54 ,  C23C16/52 ,  H01L21/203 ,  H01L21/205 ,  H01L21/22

CPC classification number: H01L21/67253 ,  C23C16/463 ,  H01L21/67109

Abstract: 本发明提供立式热处理装置及其冷却方法。其一边将炉主体和处理容器之间的空间内高精度地保持为微负压一边对该空间内进行强制冷却。立式热处理装置包括具有加热元件的炉主体和用于收容被处理体而对其实施热处理的、配置在炉主体内的处理容器。在炉主体上连接有空气供给管路和空气排气管路，在空气供给管路上配置有空气供给鼓风机和空气供给管路侧阀机构，在空气排气管路上配置有空气排气鼓风机和空气排气管路侧阀机构。利用压力检测系统检测空间内的压力，由控制部基于来自压力检测系统的检测信号控制空气供给鼓风机、空气供给管路侧阀机构、空气排气鼓风机以及空气排气管路侧阀机构，从而将空间内保持为微负压。

公开(公告)号：CN100593840C

公开(公告)日：2010-03-10

申请号：CN200780006123.4

申请日：2007-02-07

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 小林诚 ,  山贺健一 ,  斋藤孝规

IPC: H01L21/22 ,  H01L21/205 ,  H01L21/31

CPC classification number: H01L21/67109 ,  H01L21/425 ,  Y10T29/49083

Abstract: 本发明提供热处理装置、加热器及其制造方法，能提高喷出孔的设计自由度，无需调整阀只利用喷出孔的设计便能调整加热器各部的降温速度，且流路结构简单，易于实现密封和降低成本。热处理装置包括：多层收容被处理体并对其进行规定热处理的处理容器；覆盖该处理容器的外周并加热被处理体的筒状加热器；排出该加热器与处理容器之间的空间内的氛围气体的排热系统；和向空间内喷出冷却流体进行冷却的冷却单元。加热器具有筒状隔热件、配置在该隔热件内周的发热电阻体和设置在隔热件外周的外皮。冷却单元具有在隔热件和外皮之间沿高度方向形成的单个或多个环状流路、和设在隔热件上于从各环状流路向隔热件中心或中心倾斜方向喷出冷却流体的喷出孔。