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公开(公告)号：CN112563163B
公开(公告)日：2022-11-25
申请号：CN202011292247.7
申请日：2020-11-18
Applicant: 青岛中科墨云智能有限公司
Abstract: 本发明公开一种高精度LED半导体晶片自动分选机，包括分选装置和软硬件控制系统，软硬件控制系统包括四核CPU工业控制计算机和运动控制系统；四核CPU工业控制计算机的其中一内核用于运动控制系统中的底层程序的控制运行，另外三核用于分选装置的控制运行；所述运动控制系统包括由工控机、软控制器机构、硬控制器机构和驱动器机构，软控制器机构与工控机和硬控制器机构之间的EtherCAT网络相连，工控机通过EtherCAT网络控制整机运行；工控机网口与硬控制器网口串联，构成串联EtherCAT通信网络结构；所述分选装置包括硅圆片承载台机械部件、料片承载台机械部件和晶片分选机械部件。上述自动分选机中采用分选及控制系统，工作效率和分选精度更高。
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公开(公告)号：CN112691924A
公开(公告)日：2021-04-23
申请号：CN202011442981.7
申请日：2020-12-08
Applicant: 青岛中科墨云智能有限公司
Abstract: 本发明公开用于LED半导体晶片分选机的新型校准系统及校准方法，包括校准系统包括分选摆臂机构、推顶器机构和两组相机定位机构；相机定位机构包括相机固定支架、镜头组件、CCD相机组件和同轴光源组件。分选摆臂机构包括旋转基座，旋转基座的两侧分别连有第一升降组件和第二升降组件，第一升降组件通过第一螺钉调节组件连接有第一摆臂组件，第二升降组件通过第二螺钉调节组件连接有第二摆臂组件，第一摆臂组件的端部和第二摆臂组件的端部分别连接有第一分选吸嘴机构和第二分选吸嘴结构。本发明中的校准方法采用上述校准系统，实现了分选调节的三点校准。该系统的整体结构更新颖，提高了分选机性能，方便简化生产操作。
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公开(公告)号：CN112648534B
公开(公告)日：2022-07-19
申请号：CN202011405755.1
申请日：2020-12-03
Applicant: 青岛中科墨云智能有限公司
IPC: F17D1/02 , F17D3/01 , F16L55/033 , F16K31/06 , H01L21/67 , H01L21/683
Abstract: 本发明公开一种新型真空气压转换装置及晶片分选机，真空气压转换装置包括气路转换机构和真空流量检测接口电路，气路转换机构包括气压电磁阀和真空电磁阀，气压电磁阀的气压阀出气孔A通过第一气压阀机械通路与真空电磁阀的真空阀排气孔r连接，气压电磁阀的气压阀进气孔P通过第二气压阀机械通路与气压入口组件连接；真空电磁阀的真空阀出气孔a通过第一真空阀机械通路与真空气压转换出口组件连接，真空电磁阀的真空阀进气孔p通过真空入口机械通路连通有真空入口组件；真空入口机械通路上并联有真空旁路和微型真空流量开关；微型真空流量开关连接的真空流量检测接口电路。该装置实现了真空与气压的高速准确转换和真空系统的实时检测与显示。
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公开(公告)号：CN112563163A
公开(公告)日：2021-03-26
申请号：CN202011292247.7
申请日：2020-11-18
Applicant: 青岛中科墨云智能有限公司
Abstract: 本发明公开一种新型高精度LED半导体晶片自动分选机，包括分选装置和软硬件控制系统，软硬件控制系统包括四核CPU工业控制计算机和运动控制系统；四核CPU工业控制计算机的其中一内核用于运动控制系统中的底层程序的控制运行，另外三核用于分选装置的控制运行；所述运动控制系统包括由工控机、软控制器机构、硬控制器机构和驱动器机构，软控制器机构与工控机和硬控制器机构之间的EtherCAT网络相连，工控机通过EtherCAT网络控制整机运行；工控机网口与硬控制器网口串联，构成串联EtherCAT通信网络结构；所述分选装置包括硅圆片承载台机械部件、料片承载台机械部件和晶片分选机械部件。上述自动分选机中采用新型的分选及控制系统，工作效率和分选精度更高。
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公开(公告)号：CN112691924B
公开(公告)日：2022-08-12
申请号：CN202011442981.7
申请日：2020-12-08
Applicant: 青岛中科墨云智能有限公司
Abstract: 本发明公开用于LED半导体晶片分选机的新型校准系统及校准方法，包括校准系统包括分选摆臂机构、推顶器机构和两组相机定位机构；相机定位机构包括相机固定支架、镜头组件、CCD相机组件和同轴光源组件。分选摆臂机构包括旋转基座，旋转基座的两侧分别连有第一升降组件和第二升降组件，第一升降组件通过第一螺钉调节组件连接有第一摆臂组件，第二升降组件通过第二螺钉调节组件连接有第二摆臂组件，第一摆臂组件的端部和第二摆臂组件的端部分别连接有第一分选吸嘴机构和第二分选吸嘴结构。本发明中的校准方法采用上述校准系统，实现了分选调节的三点校准。该系统的整体结构更新颖，提高了分选机性能，方便简化生产操作。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112648534A
公开(公告)日：2021-04-13
申请号：CN202011405755.1
申请日：2020-12-03
Applicant: 青岛中科墨云智能有限公司
IPC: F17D1/02 , F17D3/01 , F16L55/033 , F16K31/06 , H01L21/67 , H01L21/683
Abstract: 本发明公开一种新型真空气压转换装置及晶片分选机，真空气压转换装置包括气路转换机构和真空流量检测接口电路，气路转换机构包括气压电磁阀和真空电磁阀，气压电磁阀的气压阀出气孔A通过第一气压阀机械通路与真空电磁阀的真空阀排气孔r连接，气压电磁阀的气压阀进气孔P通过第二气压阀机械通路与气压入口组件连接；真空电磁阀的真空阀出气孔a通过第一真空阀机械通路与真空气压转换出口组件连接，真空电磁阀的真空阀进气孔p通过真空入口机械通路连通有真空入口组件；真空入口机械通路上并联有真空旁路和微型真空流量开关；微型真空流量开关连接的真空流量检测接口电路。该装置实现了真空与气压的高速准确转换和真空系统的实时检测与显示。
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公开(公告)号：CN215771103U
公开(公告)日：2022-02-08
申请号：CN202122225048.0
申请日：2021-09-14
Applicant: 青岛中科墨云智能有限公司
IPC: H01L21/687 , H01L21/68
Abstract: 本实用新型公开一种用于半导体生产设备的移动装配式推顶器校准装置，包括推顶器、校准机构，校准机构包括固定块和调节框，调节框通过纵向调节组件和横向调节组件套接在固定块外，纵向调节组件包括第一压缩弹簧、第一柱头和第一顶紧螺钉，横向调节组件包括第二压缩弹簧、第二柱头和第二顶级螺钉，固定块的左端面上和前端面上分别开设第一盲孔和第二盲孔，第一压缩弹簧安装在第一盲孔内并通过第一柱头与调节框连接，第二压缩弹簧安装在第二盲孔内并通过第二柱头与调节框连接；第一顶紧螺钉、第二顶紧螺钉均穿过调节框后与固定块的后端面相接。该校准装置的整体的结构更简单新颖，加工安装也更方单，位置调节更准确，实用性高。
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公开(公告)号：CN214779220U
公开(公告)日：2021-11-19
申请号：CN202120746023.2
申请日：2021-04-13
Applicant: 青岛中科墨云智能有限公司
Abstract: 本实用新型公开一种用于半导体晶片加工的摆臂校准结构，包括摆臂支座、摆臂机构和管线机构，摆臂支座包括主摆臂支架、旋转电机连接座和管线定位器，旋转电机连接座连接在主摆臂支架上，旋转电机定位座的上端中部开设有连接管线定位器的第一凹槽，第一凹槽两侧分别设有第一管线走线槽和第二管线走线槽；摆臂机构包括第一摆臂、第二摆臂、第一吸嘴组件和第二吸嘴组件，主摆臂支架上连有第一音圈电机组件和第二音圈电机组件；管线机构包括第一电机导线、第二电机导线、第一气管和第二气管，第一摆臂上设有第一气管定位组件，第二摆臂上设有第二气管定位组件。该摆臂校准结构简单新颖，容易校准，性能稳定，并且线路定位合理，后期维护方便简单。
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公开(公告)号：CN214477379U
公开(公告)日：2021-10-22
申请号：CN202120753801.0
申请日：2021-04-13
Applicant: 青岛中科墨云智能有限公司
IPC: H01L21/687 , H01L21/67
Abstract: 本实用新型公开一种用于半导体生产设备中的新型推顶结构，包括顶针推顶机构、顶针升降机构、顶针锁紧机构、推顶器底座和固定基座组件；固定基座组件包括第一L形丝孔块，推顶器底座通过第一X轴底座校准螺丝组件和第一Y轴底座校准螺丝组件连接在第一L形丝孔块上；顶针升降机构包括升降底座和升降限位座，升降限位座内设有音圈升降电机组件和运动位置传感器；顶针推顶机构包括顶针下连接座、顶针定位套和顶针组件，顶针定位套内设置有四个顶针夹持块；顶针组件包括顶针和顶针帽；顶针锁紧机构包括连接在顶针定位套上的两个顶针X轴微调螺丝和两个顶针Y轴微调螺丝。该推顶结构的校准更方便准确，性能更稳定。
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公开(公告)号：CN214022055U
公开(公告)日：2021-08-24
申请号：CN202022988739.1
申请日：2020-12-07
Applicant: 青岛中科墨云智能有限公司
Abstract: 本实用新型公开一种LED半导体晶片自动分选机底座结构，包括支架组件，所述支架组件的上端设置有大理石底板，大理石底板的侧端面上开设有吊装孔，大理石底板的上端面上开设有多个第一安装孔，第一安装孔内通过固定胶连接有第一定位套筒，大理石底板通过第一定位套筒内的第一定位螺杆与支架组件的上部连接。大理石底板呈长方形板状，大理石底板的四周的端角处设置有倒角；大理石底板的厚度范围值为100㎜～120㎜。大理石底板内开设有多个螺纹孔，大理石底板的工作面上设置有电缆走线孔，电缆走线孔用于大理石底板工作面上的电缆到电控箱的走线。
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