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公开(公告)号：CN112833660A
公开(公告)日：2021-05-25
申请号：CN202110191534.7
申请日：2021-02-19
申请人： 青岛赛瑞达电子装备股份有限公司
摘要： 本发明公开了一种半导体集成电路用立式扩散氧化炉，包括设备架体，所述设备架体内后端设有加热炉体，所述加热炉体底部设有旋开炉门，所述加热炉体底端一侧设有升降炉门直线单元，所述升降炉门直线单元安装在设备架体内，所述升降炉门直线单元靠近加热炉体一侧底端连接有升降炉门，所述升降炉门顶面设有晶圆舟；炉型从传统的卧式变为立式，可以彻底解决因炉管直径大卧式方式存在的炉管晶片放置的截面的温度误差问题，同时实现晶片的进、出炉和出炉后机械手实施晶片插、取片和传片的自动化，是集成电路芯片的基础工艺和设备。
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公开(公告)号：CN112429664A
公开(公告)日：2021-03-02
申请号：CN202011450002.2
申请日：2020-12-09
申请人： 青岛赛瑞达电子装备股份有限公司
摘要： 本发明涉及光伏炉体提升技术领域，且公开了一种提升炉体的卷扬机构，解决了目前炉体安装时叉车的高度不够，以及长炉体在叉车叉子上因为过长产生摇摆和升降不好控制，易造成极大的安全隐患的问题，其包括设备架体，所述设备架体上端中部连接有安装板，安装板上端连接有卷扬机构总成，本发明，通过卷扬机构总成的设置，可以实现稳定、可靠、方便操控，将长炉体分别抬升到需要的炉体位置高度，安稳实现长炉体的安装；有效的解决了传统方式中叉车的高度不够和长炉体在叉车叉子上因为过长产生摇摆和升降不好控制的危险因素和难题，实现了安全、方便操作，极大的提升了安装效率和确保安全的功效。
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公开(公告)号：CN112857045A
公开(公告)日：2021-05-28
申请号：CN202110285869.5
申请日：2021-03-17
申请人： 青岛赛瑞达电子装备股份有限公司
摘要： 本发明的一种立式高温炉真空密封反射屏炉膛结构，包括炉盖、炉壳、炉底法兰通过螺栓紧固、密封圈密封且炉底法兰活动密封安装有密封法兰和工艺管的真空密封炉膛，真空密封炉膛内部包括由工艺管限定的工艺腔室，用于进行工艺片的工艺过程，所述真空密封炉膛内部设有炉盖隔热屏、炉壳隔热屏、炉底隔热屏，所述炉盖隔热屏、炉壳隔热屏、炉底隔热屏之间呈迷宫状密封接缝，所述炉盖隔热屏、炉壳隔热屏、炉底隔热屏与所述工艺管之间设有加热腔，所述加热腔内设置加热器。本发明通过在真空密封炉膛内设置多层隔热屏间隔层叠而成的炉盖隔热屏、炉壳隔热屏、炉底隔热屏，且三组隔热屏迷宫状密封接缝，使得立式高温氧化炉中向外扩散的热量得到反射，不仅使得加热达到的温度能够稳定的保持，减少能源消耗，而且还减少了对炉外组件的高温影响。
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公开(公告)号：CN112833661A
公开(公告)日：2021-05-25
申请号：CN202110191565.2
申请日：2021-02-19
申请人： 青岛赛瑞达电子装备股份有限公司
摘要： 本发明的一种立式高温氧化、退火炉包括：真空密封炉膛，通过炉底法兰与真空密封炉膛连接的炉门室，炉门室底部开口处通过炉门密封，真空密封炉膛内设有保温层，所述保温层与工艺炉管之间形成加热腔，所述加热腔内设置加热器；所述工艺炉管与炉底法兰、炉门室、炉门密闭形成工艺腔；穿过所述保温层和炉壳分别设置炉壳真空管和炉壳进气管；穿过所述炉门室一侧设置工艺腔真空管，另一侧设置工艺腔进气管。本发明通过在真空密封炉膛内设置炉底保温层，炉壳保温层，炉盖保温层，且炉盖保温层与炉盖进行内部固结形成一体，炉壳内的三组保温层形成一个封闭保温空腔，使得立式高温氧化炉加热达到的温度能够稳定的保持，减少能源消耗。
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公开(公告)号：CN112815713A
公开(公告)日：2021-05-18
申请号：CN202110195604.6
申请日：2021-02-19
申请人： 青岛赛瑞达电子装备股份有限公司
摘要： 本发明属于高温硅钼棒生产技术领域，尤其是一种带门的高温硅钼棒加热炉膛结构，包括主壳体，所述主壳体的内部设置有空腔，且空腔的内壁设置有加热器B，所述加热器B成U型结构，所述空腔位于加热器B上方和下方的内壁均设置有加热器A，所述加热器A呈W型结构，所述加热器A和加热器B的两端均设置有加热器电极，所述加热器A的外壁设置有第一热偶，所述加热器B的外壁设置有第二热偶。本发明有效的实现了低成本高温度的设计，并且既可以在有氧环境使用，也可以在空气中使用，使用中无需密封、通气和真空保护加热器，加热器A与加热器B产品可以实现1700℃以下的加热能力，满足碳化硅的加热需求。
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公开(公告)号：CN112719144A
公开(公告)日：2021-04-30
申请号：CN202011447545.9
申请日：2020-12-09
申请人： 青岛赛瑞达电子装备股份有限公司
摘要： 本申请公开了一种预热绕丝机，包括驱动端、支撑端、两端设有中心孔的绕丝滚筒和加热器；驱动端包括驱动端支座、驱动轴、驱动轴绝缘销轴套；支撑端包括支撑端支座、可滑动支座、旋转支撑轴，旋转支撑轴插入绕丝滚筒另一端的中心孔；加热器包括安装在驱动端支座上与绕丝滚筒电连接的电极A、滑动安装导向单元上的电极B、穿过电极B与绕丝滚筒外表面固定孔连接的炉丝和电源。本申请通过电源通电后，电源，导线A，电极A，绕丝滚筒，炉丝和电极B，导线B与低压变压器形成一个完整电路，可以方便实现炉丝在绕丝滚筒缠绕前进行可控温度的加热，从而实现了炉丝为热缠绕，避免了冷硬变形造成的炉丝表面的微裂纹损伤，使得加热器寿命大幅度提高。
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公开(公告)号：CN111551037A
公开(公告)日：2020-08-18
申请号：CN202010545036.3
申请日：2020-06-15
申请人： 青岛赛瑞达电子装备股份有限公司
IPC分类号： F27D9/00
摘要： 本发明公开了一种两端带水冷的工艺管，包括工艺管主体、水冷套、进出水嘴、前后固定法兰、炉门密封圈、密封压紧法兰、工艺管密封圈、后炉门、前炉门、片舟和硅片和设备架体，设备架体的内壁通过前后固定法兰固定安装有工艺管主体，工艺管主体两端靠近设备架体的位置处通过前后固定法兰固定安装有水冷套。本发明在两端炉口对密封处热辐射产生的温度，对炉门密封圈的影响，以及加热器对工艺管主体产生的热量，使其内部冷却水的快速流动将热量带走，很好阻断了因工艺管主体传导来的热量对炉门密封圈和工艺管密封圈的热影响，使炉门密封圈和工艺管密封圈处的温度保持低温，保证了密封效果和明显延长炉门密封圈和工艺管密封圈的使用寿命。
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公开(公告)号：CN215864645U
公开(公告)日：2022-02-18
申请号：CN202120551026.0
申请日：2021-03-17
申请人： 青岛赛瑞达电子装备股份有限公司
摘要： 本发明的一种立式高温炉真空密封反射屏炉膛结构，包括炉盖、炉壳、炉底法兰通过螺栓紧固、密封圈密封且炉底法兰活动密封安装有密封法兰和工艺管的真空密封炉膛，真空密封炉膛内部包括由工艺管限定的工艺腔室，用于进行工艺片的工艺过程，所述真空密封炉膛内部设有炉盖隔热屏、炉壳隔热屏、炉底隔热屏并呈迷宫状密封接缝，真空密封炉膛内部的结构与工艺管之间设有加热腔。本发明通过在真空密封炉膛内设置多层隔热屏间隔层叠而成的炉盖隔热屏、炉壳隔热屏、炉底隔热屏，且三组隔热屏迷宫状密封接缝，使得立式高温氧化炉中向外扩散的热量得到反射，不仅使得加热达到的温度能够稳定的保持，减少能源消耗，而且还减少了对炉外组件的高温影响。
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公开(公告)号：CN215279643U
公开(公告)日：2021-12-24
申请号：CN202022957504.6
申请日：2020-12-09
申请人： 青岛赛瑞达电子装备股份有限公司
摘要： 本申请公开了一种预热绕丝机，包括驱动端、支撑端、两端设有中心孔的绕丝滚筒和加热器；驱动端包括驱动端支座、驱动轴、驱动轴绝缘销轴套；支撑端包括支撑端支座、可滑动支座、旋转支撑轴，旋转支撑轴插入绕丝滚筒另一端的中心孔；加热器包括安装在驱动端支座上与绕丝滚筒电连接的电极A、滑动安装导向单元上的电极B、穿过电极B与绕丝滚筒外表面固定孔连接的炉丝和电源。本申请通过电源通电后，电源，导线A，电极A，绕丝滚筒，炉丝和电极B，导线B与低压变压器形成一个完整电路，可以方便实现炉丝在绕丝滚筒缠绕前进行可控温度的加热，从而实现了炉丝为热缠绕，避免了冷硬变形造成的炉丝表面的微裂纹损伤，使得加热器寿命大幅度提高。
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公开(公告)号：CN213950426U
公开(公告)日：2021-08-13
申请号：CN202022960445.8
申请日：2020-12-09
申请人： 青岛赛瑞达电子装备股份有限公司
摘要： 本发明涉及光伏炉体提升技术领域，且公开了一种提升炉体的卷扬机构，解决了目前炉体安装时叉车的高度不够，以及长炉体在叉车叉子上因为过长产生摇摆和升降不好控制，易造成极大的安全隐患的问题，其包括设备架体，所述设备架体上端中部连接有安装板，安装板上端连接有卷扬机构总成，本发明，通过卷扬机构总成的设置，可以实现稳定、可靠、方便操控，将长炉体分别抬升到需要的炉体位置高度，安稳实现长炉体的安装；有效的解决了传统方式中叉车的高度不够和长炉体在叉车叉子上因为过长产生摇摆和升降不好控制的危险因素和难题，实现了安全、方便操作，极大的提升了安装效率和确保安全的功效。
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