一种双组份型抛光液及其制备方法,以及硅片抛光方法

    公开(公告)号:CN115011258A

    公开(公告)日:2022-09-06

    申请号:CN202210856868.6

    申请日:2022-07-20

    IPC分类号: C09G1/02 B24B37/04 H01L21/306

    摘要: 本发明提供了一种双组份型抛光液及其制备方法,以及硅片抛光方法。本发明提供的双组份型抛光液,包括:A组分和B组分;其中,所述A组分包括以下质量份的组分:1~100份FeSO4;1000份水;酸性pH调节剂,用量为使所述A组分的pH值达到2~6;所述B组分包括以下质量份的组分:70~120份研磨颗粒;20~200份过硫酸盐;2~20份螯合剂;1000份水;酸性pH调节剂,用量为使所述B组分的pH值达到2~6。本发明提供的双组份型抛光液不仅能够实现硅片表面的高效率高质量加工,而且还无毒无害、安全环保,能够同时提高处理效率和使用安全性及保存稳定性。