公开(公告)号：CN102272935B

公开(公告)日：2015-06-24

申请号：CN201080004068.7

申请日：2010-01-06

申请人： 1366科技公司

发明人： E.M.萨赫斯 ,  R.L.华莱士 ,  J.F.布雷德特 ,  B.F.波利托 ,  A.埃尔森

IPC分类号： H01L31/00

CPC分类号： H01L31/022425 ,  H01L21/6715 ,  Y02E10/50

摘要： 含液体的材料被沉积到工件－如硅片表面上的凹槽内，以便形成太阳能电池。液体能够被配送入工件路径内，如在压力下通过配送管进入凹槽内。配送管机械地遵循凹槽中的轨迹。所述配送管可以较小，且能够在槽底搁置，侧壁起限制作用。或者其也可以较大，且能在凹槽的顶边上骑行。诸如突起、非圆形横截面、模制突起和凸起部的轨迹特征也能增强循迹效果。配送管可以通过弹性或磁性加载而对凹槽施力。对准引导件－如引入特征可以导引配送管进入凹槽。沿该路径的恢复特征可以恢复任意的管。可使用多根管。多个工件可排成行或在一个鼓状物上处理。

公开(公告)号：CN102272935A

公开(公告)日：2011-12-07

申请号：CN201080004068.7

申请日：2010-01-06

申请人： 1366科技公司

发明人： E.M.萨赫斯 ,  R.L.华莱士 ,  J.F.布雷德特 ,  B.F.波利托 ,  A.埃尔森

IPC分类号： H01L31/00

CPC分类号： H01L31/022425 ,  H01L21/6715 ,  Y02E10/50

摘要： 含液体的材料被沉积到工件－如硅片表面上的凹槽内，以便形成太阳能电池。液体能够被配送入工件路径内，如在压力下通过配送管进入凹槽内。配送管机械地遵循凹槽中的轨迹。所述配送管可以较小，且能够在槽底搁置，侧壁起限制作用。或者其也可以较大，且能在凹槽的顶边上骑行。诸如突起、非圆形横截面、模制突起和凸起部的轨迹特征也能增强循迹效果。配送管可以通过弹性或磁性加载而对凹槽施力。对准引导件－如引入特征可以导引配送管进入凹槽。沿该路径的恢复特征可以恢复任意的管。可使用多根管。多个工件可排成行或在一个鼓状物上处理。