抛光制品、抛光系统和抛光方法

    公开(公告)号:CN114599482A

    公开(公告)日:2022-06-07

    申请号:CN202080074566.2

    申请日:2020-10-29

    摘要: 本发明公开了一种抛光制品,该抛光制品包括具有工作表面的抛光层,该工作表面包括设置在工作表面上的至少一个多单元结构。多单元结构包括三个单元,被定义为第一单元、第二单元和第三单元。三个单元中的每一个单元包括限定单元形状的至少一个侧壁。第一单元和第二单元包括第一公共侧壁,该第一公共侧壁包括第一通道和第一轴线,第一通道具有第一通道长度,允许第一单元与第二单元之间的流体连通,第一轴线垂直于第一通道长度且基本上平行于工作表面。此外,第二单元和第三单元包括第二公共侧壁,该第二公共侧壁包括第二通道和第二轴线,第二通道具有第二通道长度,允许第二单元与第三单元之间的流体连通,第二轴线垂直于第二通道长度且基本上平行于工作表面。第一轴线与第二轴线之间的夹角为0°至小于180°。

    表面突起抛光垫
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN111032285B

    公开(公告)日:2022-07-19

    申请号:CN201880054222.8

    申请日:2018-08-21

    IPC分类号: B24B37/26

    摘要: 本发明提供了一种制品,该制品包括表面层和联接到表面层的至少一部分的基底层。表面层包括限定平面的顶部主表面和与顶部主表面相对的底部主表面。多个突起从顶部主表面的平面延伸,并且多个微结构从所述多个突起延伸。

    表面突起抛光垫
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111032285A

    公开(公告)日:2020-04-17

    申请号:CN201880054222.8

    申请日:2018-08-21

    IPC分类号: B24B37/26

    摘要: 本发明提供了一种制品,该制品包括表面层和联接到表面层的至少一部分的基底层。表面层包括限定平面的顶部主表面和与顶部主表面相对的底部主表面。多个突起从顶部主表面的平面延伸,并且多个微结构从所述多个突起延伸。