玻璃层叠体及其制造方法、电子设备的制造方法

    公开(公告)号:CN105313388B

    公开(公告)日:2019-04-05

    申请号:CN201510294054.8

    申请日:2015-06-01

    Abstract: 本发明涉及玻璃层叠体及其制造方法、电子设备的制造方法,所述玻璃层叠体具有:支撑基板;配置于所述支撑基板上、并且在与所述支撑基板侧相反的一侧的表面具有凸部的树脂层;以追随所述树脂层的具有所述凸部的表面的形状的方式配置于所述树脂层上的玻璃基板,所述支撑基板与所述树脂层的界面的剥离强度比所述树脂层与所述玻璃基板的界面的剥离强度大,其中,所述玻璃基板在与所述树脂层侧相反的一侧的表面在所述树脂层的所述凸部的正上方的位置具有凸部,所述玻璃基板的具有所述凸部的表面的滤波中心线波纹度X比所述树脂层的具有所述凸部的表面的滤波中心线波纹度Y小。

    检查装置
    3.
    发明公开
    检查装置 审中-公开

    公开(公告)号:CN117630046A

    公开(公告)日:2024-03-01

    申请号:CN202311103079.6

    申请日:2023-08-29

    Abstract: 提供一种检查装置,在用于玻璃板的夹装材料中包含异物中,能够高精度地推定使玻璃板的正面产生污染、损伤等缺陷的异物。具备:第一检查部,取得由夹装材料的正面、或正背面的表面状态的信息构成的第一信息;按压部,使取得了第一信息的夹装材料的正面与玻璃板抵接;第二检查部,取得由与夹装材料的正面抵接后的玻璃板的主面的表面状态的信息构成的第二信息;判定部,推定存在于夹装材料的异物中使玻璃板的主面产生缺陷的异物,判定部从所述第一信息提取存在于夹装材料的异物的位置信息即第一位置信息,从所述第二信息提取存在于玻璃板的主面的缺陷的位置信息即第二位置信息,基于第一位置信息及第二位置信息来推定使玻璃板的主面产生缺陷的异物。

    基板清洗装置和基板清洗方法
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN119869982A

    公开(公告)日:2025-04-25

    申请号:CN202411380147.8

    申请日:2024-09-30

    Abstract: 提供通过检测清洗构件相对于基板的接触状态,能够由清洗构件良好地清洗基板,而且能够判定基板的输送状态、清洗构件的设置状态、基板清洗装置中的异常的发生的基板清洗装置和基板清洗方法。基板清洗装置(100)将被输送的玻璃板(G)的表面和背面中的至少一个面作为被清洗面进行清洗,其中,具备:基板输送装置(10),对玻璃板(G)进行输送;圆盘刷(23),一边旋转一边与被输送的玻璃板(G)的被清洗面接触;多个测力传感器(61),在与玻璃板(G)的输送方向(X)交叉的宽度方向的多个部位对圆盘刷(23)施加于被清洗面的载荷进行测定;及作为检测部的控制部(71),基于来自多个测力传感器(61)的测定数据,检测圆盘刷(23)与玻璃板(G)的接触状态,并基于检测到的接触状态,判定玻璃板(G)的输送状态、圆盘刷(23)的设置状态或基板清洗装置(100)中的异常的发生。

    玻璃板的清洗方法
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118403871A

    公开(公告)日:2024-07-30

    申请号:CN202410111915.3

    申请日:2024-01-26

    Abstract: 提供一种玻璃板的清洗方法,能够降低附着于清洗后的玻璃基板的颗粒的量。玻璃板的清洗方法在周围被包围的处理区域内一边向从上游侧去往下游侧的搬运方向X搬运玻璃板G一边清洗玻璃板G,其中,在一般室NR侧的上游区域Anr中进行针对玻璃板G的上游侧的上游工序,在洁净室CR侧的下游区域Acr中进行针对玻璃板G的下游侧的下游工序,使洁净室CR侧的下游区域Acr的压力PAcr比一般室NR侧的上游区域Anr的压力PAnr高。

    树脂层的去除方法
    6.
    发明授权

    公开(公告)号:CN105032874B

    公开(公告)日:2019-04-16

    申请号:CN201510220079.3

    申请日:2015-04-30

    Abstract: 本发明涉及一种树脂层的去除方法,其去除配置在玻璃基板上的树脂层,具有如下工序:使碱浓度为15质量%以上且含有3质量%以上式(1)所示的化合物的碱水溶液与树脂层接触,去除树脂层,RO‑(LO)n‑H式(1)式(1)中,R表示烷基,L表示亚烷基,n表示1以上的整数。

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