公开(公告)号：CN103298968B

公开(公告)日：2016-11-09

申请号：CN201180020173.4

申请日：2011-04-20

申请人： ALD真空技术有限责任公司

发明人： J·霍茨 ,  P·塞泽尔科 ,  J·维蒂希 ,  H·埃伯哈特 ,  M·基尔施纳 ,  W·里特

IPC分类号： C23C14/24 ,  C23C14/30 ,  H01J37/305

CPC分类号： C23C14/246 ,  C23C14/30 ,  H01J37/20 ,  H01J37/3053 ,  H01J2237/202 ,  H01J2237/3132

摘要： 为了能够利用蒸发设备提供两种不同的蒸发材料，要利用该蒸发设备为特别是涡轮机叶片涂层，而提出一种可线性运行的支架，在所述支架上布置两个分别具有前坩埚和后坩埚的坩埚装置。根据支架运行到哪个位置上，使得前坩埚或者后坩埚位于工作位置中，其中在待涂层的基底之间延伸的电子束可到达所述坩埚。材料输送借助提升装置来实现，所述提升装置由真空腔(4)外部的马达来驱动。与所述提升装置的连接通过伸缩轴来实现，所述伸缩轴在支架(1)运行时可伸长或者收缩。

公开(公告)号：CN103298968A

公开(公告)日：2013-09-11

申请号：CN201180020173.4

申请日：2011-04-20

申请人： ALD真空技术有限责任公司

发明人： J·霍茨 ,  P·塞泽尔科 ,  J·维蒂希 ,  H·埃伯哈特 ,  M·基尔施纳 ,  W·里特

IPC分类号： C23C14/24 ,  C23C14/30 ,  H01J37/305

CPC分类号： C23C14/246 ,  C23C14/30 ,  H01J37/20 ,  H01J37/3053 ,  H01J2237/202 ,  H01J2237/3132

摘要： 为了能够利用蒸发设备提供两种不同的蒸发材料，要利用该蒸发设备为特别是涡轮机叶片涂层，而提出一种可线性运行的支架，在所述支架上布置两个分别具有前坩埚和后坩埚的坩埚装置。根据支架运行到哪个位置上，使得前坩埚或者后坩埚位于工作位置中，其中在待涂层的基底之间延伸的电子束可到达所述坩埚。材料输送借助提升装置来实现，所述提升装置由真空腔(4)外部的马达来驱动。与所述提升装置的连接通过伸缩轴来实现，所述伸缩轴在支架(1)运行时可伸长或者收缩。