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公开(公告)号:CN118273989A
公开(公告)日:2024-07-02
申请号:CN202311809994.7
申请日:2023-12-26
申请人: ASM IP私人控股有限公司
发明人: M·K·阿鲁拉南达姆 , B·坎南 , J·L·温科勒
摘要: 本技术的各种实施例可以提供一种具有由多个侧壁限定的内部区域的蓄压器。蓄压器可以包括设置在第一侧壁中的入口和设置在第二侧壁内的出口。蓄压器还可以包括设置在内部区域内的活塞和联接到活塞的杆,其中杆通过第三侧壁延伸到内部区域的外部。