公开(公告)号：CN1510394A

公开(公告)日：2004-07-07

申请号：CN200310123201.2

申请日：2003-12-19

申请人： ASML控股股份有限公司

发明人： 博古斯瓦夫·F·盖德克科 ,  肯尼思·M·博古斯基 ,  丹尼尔·N·加尔博特 ,  威利·M·桑德 ,  凯文·J·韦奥莱特

IPC分类号： G01B13/12

CPC分类号： G03F7/709 ,  G01B13/12 ,  G03F7/70341 ,  G03F7/7085 ,  G05D7/0186

摘要： 一种用来精确检测一测量探头及一表面之间的非常小距离的位置及方法，尤其是一种接近传感器，其使用一恒定气流且感知一气动桥接内的质量流动率，以检测非常小的距离。在此装置内，以多孔材料制成的流量限制器及/或缓冲器及/或质量流动率控制器的使用致使非常小距离的检测在纳米至次纳米范围内。另一实施例，其中一接近传感器的测量通道系连接至多测量分支。

公开(公告)号：CN100427881C

公开(公告)日：2008-10-22

申请号：CN200310123201.2

申请日：2003-12-19

申请人： ASML控股股份有限公司

发明人： 博古斯瓦夫·F·盖德克科 ,  肯尼思·M·博古斯基 ,  丹尼尔·N·加尔博特 ,  威利·M·桑德 ,  凯文·J·韦奥莱特

IPC分类号： G01B13/12

CPC分类号： G03F7/709 ,  G01B13/12 ,  G03F7/70341 ,  G03F7/7085 ,  G05D7/0186

摘要： 一种用来精确检测一测量探头及一表面之间的非常小距离的位置及方法，尤其是一种接近传感器，其使用一恒定气流且感知一气动桥接内的质量流动率，以检测非常小的距离。在此装置内，以多孔材料制成的流量限制器及/或缓冲器及/或质量流动率控制器的使用致使非常小距离的检测在纳米至次纳米范围内。另一实施例，其中一接近传感器的测量通道系连接至多测量分支。