公开(公告)号：CN108139695B

公开(公告)日：2020-06-26

申请号：CN201680059924.6

申请日：2016-09-30

Applicant: ASML控股股份有限公司

Inventor： 叶红 ,  G·J·尼杰梅杰

IPC: G03F9/00 ,  G03F7/20

Abstract: 公开了用于测量目标(例如，对准标记(例如，在衬底上))的方法和设备。在“飞入”方向执行目标与测量系统的测量斑点之间的相对运动(例如，目标朝向测量斑点的运动)，使得可以进行针对目标的第一测量。之后，在相反的“飞入”方向进行目标与测量斑点之间的相对运动，使得可以进行针对目标的第二测量。通过对这两个测量进行组合(例如，平均)，消除误差，并且可以实现更高的测量精度。

公开(公告)号：CN108139695A

公开(公告)日：2018-06-08

申请号：CN201680059924.6

申请日：2016-09-30

Applicant: ASML控股股份有限公司

Inventor： 叶红 ,  G·J·尼杰梅杰

IPC: G03F9/00 ,  G03F7/20

Abstract: 公开了用于测量目标(例如，对准标记(例如，在衬底上))的方法和设备。在“飞入”方向执行目标与测量系统的测量斑点之间的相对运动(例如，目标朝向测量斑点的运动)，使得可以进行针对目标的第一测量。之后，在相反的“飞入”方向进行目标与测量斑点之间的相对运动，使得可以进行针对目标的第二测量。通过对这两个测量进行组合(例如，平均)，消除误差，并且可以实现更高的测量精度。