公开(公告)号：CN113454538B

公开(公告)日：2024-06-11

申请号：CN202080015884.1

申请日：2020-02-06

Applicant: ASML控股股份有限公司

Inventor： J·亚当斯 ,  林宇翔 ,  K·肖梅 ,  G·J·奈梅尔 ,  I·M·P·阿蒂斯

IPC: G03F9/00

Abstract: 一种对准方法，包括：引导具有第一偏振态的照射束以形成来自对准目标的、具有第二偏振态的衍射束；和使所述衍射束传递通过偏振分析器。所述对准方法还包括：测量所述衍射束的偏振态；和根据所测量的偏振态，相对于其初始偏振态来确定所述对准目标的部位。所述对准目标包括具有单个间距以及两个或更多个占空比的多个衍射光栅，其中所述间距小于所述照射束的波长，并且所述对准目标的部位对应于所述衍射光栅的占空比。

公开(公告)号：CN113454538A

公开(公告)日：2021-09-28

申请号：CN202080015884.1

申请日：2020-02-06

Applicant: ASML控股股份有限公司

Inventor： J·亚当斯 ,  林宇翔 ,  K·肖梅 ,  G·J·奈梅尔 ,  I·M·P·阿蒂斯

IPC: G03F9/00

Abstract: 一种对准方法，包括：引导具有第一偏振态的照射束以形成来自对准目标的、具有第二偏振态的衍射束；和使所述衍射束传递通过偏振分析器。所述对准方法还包括：测量所述衍射束的偏振态；和根据所测量的偏振态，相对于其初始偏振态来确定所述对准目标的部位。所述对准目标包括具有单个间距以及两个或更多个占空比的多个衍射光栅，其中所述间距小于所述照射束的波长，并且所述对准目标的部位对应于所述衍射光栅的占空比。