公开(公告)号：CN113811818A

公开(公告)日：2021-12-17

申请号：CN202080033776.7

申请日：2020-04-28

Applicant: ASML控股股份有限公司

Inventor： H·克里什南 ,  K·S·多希

IPC: G03F7/20

Abstract: 本文中的实施例描述了用于为物体提供支撑的方法和安全装置。一种安全装置包括具有驱动电机的驱动侧、以及从动侧。安全装置的从动侧包括外壳和安全闩锁，该外壳具有沿着外壳的长度延伸的旋转轴。从动侧经由旋转轴的第一端处的非接触式磁耦合装置被耦合到驱动电机，并且安全闩锁被耦合到旋转轴的与旋转轴的第一端相对的第二端。驱动电机被配置为经由非接触式磁耦合装置在驱动侧引起安全闩锁在径向方向上的旋转。

公开(公告)号：CN113811818B

公开(公告)日：2024-08-16

申请号：CN202080033776.7

申请日：2020-04-28

Applicant: ASML控股股份有限公司

Inventor： H·克里什南 ,  K·S·多希

IPC: G03F7/20

Abstract: 本文中的实施例描述了用于为物体提供支撑的方法和安全装置。一种安全装置包括具有驱动电机的驱动侧、以及从动侧。安全装置的从动侧包括外壳和安全闩锁，该外壳具有沿着外壳的长度延伸的旋转轴。从动侧经由旋转轴的第一端处的非接触式磁耦合装置被耦合到驱动电机，并且安全闩锁被耦合到旋转轴的与旋转轴的第一端相对的第二端。驱动电机被配置为经由非接触式磁耦合装置在驱动侧引起安全闩锁在径向方向上的旋转。

公开(公告)号：CN113811819A

公开(公告)日：2021-12-17

申请号：CN202080034260.4

申请日：2020-05-01

Applicant: ASML控股股份有限公司

Inventor： K·S·多希 ,  H·克里什南

IPC: G03F7/20

Abstract: 一种用于保护掩模版的缓冲器装置包括基础结构、第一细长元件和第二细长元件、接触件和恢复元件。第一细长元件和第二细长元件每个包括远端和近端。第一元件和第二元件的近端附接到基础结构。接触件设置在第一细长元件和第二细长元件的远端的端部处。第一细长元件和第二细长元件响应于由掩模版引起的接触力而变形。恢复元件附接到第一细长元件和第二细长元件。恢复元件生成抵抗第一细长元件和第二细长元件的变形的恢复力。