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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113454535B
公开(公告)日：2024-08-02
申请号：CN202080014571.4
申请日：2020-01-27
Applicant: ASML控股股份有限公司
Abstract: 一种设备，包括第一基板、第二基板和设置在所述第一基板与所述第二基板之间的中间层。所述中间层被配置成作为在所述设备受到外力的情况下的第一失效点或破损点。所述设备还可以包括设置在所述第一基板与所述第二基板之间的结合层。所述结合层被配置成将所述中间层结合到所述第一基板和第二基板。所述设备还可以包括被联接至所述第一基板和所述第二基板的紧固件。所述紧固件被配置成将所述中间层固定到所述第一基板和所述第二基板。所述中间层可以包括涂覆至所述第一衬底或所述第二衬底的涂层。所述设备还可以包括设置在所述第一基板与所述紧固件之间或所述第二基板与所述紧固件之间的第二中间层。
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公开(公告)号：CN113811818B
公开(公告)日：2024-08-16
申请号：CN202080033776.7
申请日：2020-04-28
Applicant: ASML控股股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本文中的实施例描述了用于为物体提供支撑的方法和安全装置。一种安全装置包括具有驱动电机的驱动侧、以及从动侧。安全装置的从动侧包括外壳和安全闩锁，该外壳具有沿着外壳的长度延伸的旋转轴。从动侧经由旋转轴的第一端处的非接触式磁耦合装置被耦合到驱动电机，并且安全闩锁被耦合到旋转轴的与旋转轴的第一端相对的第二端。驱动电机被配置为经由非接触式磁耦合装置在驱动侧引起安全闩锁在径向方向上的旋转。
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公开(公告)号：CN113811819A
公开(公告)日：2021-12-17
申请号：CN202080034260.4
申请日：2020-05-01
Applicant: ASML控股股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种用于保护掩模版的缓冲器装置包括基础结构、第一细长元件和第二细长元件、接触件和恢复元件。第一细长元件和第二细长元件每个包括远端和近端。第一元件和第二元件的近端附接到基础结构。接触件设置在第一细长元件和第二细长元件的远端的端部处。第一细长元件和第二细长元件响应于由掩模版引起的接触力而变形。恢复元件附接到第一细长元件和第二细长元件。恢复元件生成抵抗第一细长元件和第二细长元件的变形的恢复力。
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公开(公告)号：CN113811818A
公开(公告)日：2021-12-17
申请号：CN202080033776.7
申请日：2020-04-28
Applicant: ASML控股股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本文中的实施例描述了用于为物体提供支撑的方法和安全装置。一种安全装置包括具有驱动电机的驱动侧、以及从动侧。安全装置的从动侧包括外壳和安全闩锁，该外壳具有沿着外壳的长度延伸的旋转轴。从动侧经由旋转轴的第一端处的非接触式磁耦合装置被耦合到驱动电机，并且安全闩锁被耦合到旋转轴的与旋转轴的第一端相对的第二端。驱动电机被配置为经由非接触式磁耦合装置在驱动侧引起安全闩锁在径向方向上的旋转。
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公开(公告)号：CN113454535A
公开(公告)日：2021-09-28
申请号：CN202080014571.4
申请日：2020-01-27
Applicant: ASML控股股份有限公司
Abstract: 一种设备，包括第一基板、第二基板和设置在所述第一基板与所述第二基板之间的中间层。所述中间层被配置成作为在所述设备受到外力的情况下的第一失效点或破损点。所述设备还可以包括设置在所述第一基板与所述第二基板之间的结合层。所述结合层被配置成将所述中间层结合到所述第一基板和第二基板。所述设备还可以包括被联接至所述第一基板和所述第二基板的紧固件。所述紧固件被配置成将所述中间层固定到所述第一基板和所述第二基板。所述中间层可以包括涂覆至所述第一衬底或所述第二衬底的涂层。所述设备还可以包括设置在所述第一基板与所述紧固件之间或所述第二基板与所述紧固件之间的第二中间层。
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