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公开(公告)号：CN102472961A
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN201080029069.7
申请日：2010-07-16
Applicant: ASML控股股份有限公司
IPC: G03F1/84
CPC classification number: G03F1/84 , G03F7/7065
Abstract: 公开的是用于时间差分掩模版检查的系统和方法。污染物例如通过确定所述掩模版的至少一部分的第一识别标识与所述掩模版的所述部分的在所述第一识别标识之后产生的第二识别标识之间的差别而被确定。
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公开(公告)号：CN102472961B
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN201080029069.7
申请日：2010-07-16
Applicant: ASML控股股份有限公司
IPC: G03F1/84
CPC classification number: G03F1/84 , G03F7/7065
Abstract: 公开的是用于时间差分掩模版检查的系统和方法。污染物例如通过确定所述掩模版的至少一部分的第一识别标识与所述掩模版的所述部分的在所述第一识别标识之后产生的第二识别标识之间的差别而被确定。
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