公开(公告)号：CN116940901A

公开(公告)日：2023-10-24

申请号：CN202280019613.2

申请日：2022-02-10

申请人： ASML荷兰有限公司

发明人： 克塞尼亚·谢尔盖夫纳·马卡伦科 ,  M·A·范德柯克霍夫 ,  A·多尔戈夫

IPC分类号： G03F7/20

摘要： 一种用于夹持物体的静电夹具，该静电夹具包括电粘附层，该电粘附层包括涂覆有绝缘材料的多个导电性可压缩材料元件，其中，电粘附层被配置为以电气方式改变对物体的粘附性，以用于夹持及松开物体，其中，所述元件具有在1nm至100nm的范围内、优选地在5nm至20nm的范围内的平均直径。

公开(公告)号：CN116325115A

公开(公告)日：2023-06-23

申请号：CN202180071039.0

申请日：2021-10-14

申请人： ASML荷兰有限公司

发明人： 古斯塔夫·加莱因·范伊登 ,  阮龚翁 ,  克塞尼亚·谢尔盖夫纳·马卡伦科

IPC分类号： H01L21/683

摘要： 公开了一种用于通过静电力保持物体的静电夹具。所述静电夹具包括：介电构件，所述介电构件具有从表面延伸以限定一平面，所述物体被保持在所述平面中的多个导电突节；和导电元件，所述导电元件在所述多个突节之间延伸且连接所述多个突节。所述导电元件被设置在形成在所述介电构件的所述表面上的一个或更多个沟槽内。还公开了一种制造所述静电夹具的方法。