公开(公告)号：CN119586010A

公开(公告)日：2025-03-07

申请号：CN202380050315.4

申请日：2023-06-20

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： 简国晋 ,  马杰

IPC: H03M1/10 ,  H01J37/317 ,  H03M1/66

Abstract: 公开了一种用于控制带电粒子检查系统的偏转器的方法。该方法包括针对带电粒子检查系统中包括的多个数模转换器(DAC)中的每个DAC建立映射关系，该映射关系表征DAC中每一者的非线性行为，确定用于操纵带电粒子检查系统的偏转器的目标控制信号，基于目标控制信号之中的对应目标控制信号和对应映射关系针对多个DAC中的每个DAC确定误差校正数字输入，并将对应的误差校正数字输入输入到DAC中每一者，以使得DAC中每一者能够生成对应的误差补偿输出。

公开(公告)号：CN115485804A

公开(公告)日：2022-12-16

申请号：CN202180032940.7

申请日：2021-03-18

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： 王勇新 ,  董仲华 ,  季晓宇 ,  沙赫杜尔·霍克 ,  任伟明 ,  刘学东 ,  叶国凡 ,  简国晋

IPC: H01J37/147 ,  H01J37/28

Abstract: 一种装置包括被定位在第一层中、被配置为影响带电粒子束的第一带电粒子束操纵器和被定位在第二层中、被配置为影响带电粒子束的第二带电粒子束操纵器。第一带电粒子束操纵器和第二带电粒子束操纵器各自可以包括具有第一组相对电极和第二组相对电极的多个电极。电连接到第一组的第一驱动器系统可以被配置为向第一组提供多个离散输出状态。电连接到第二组的第二驱动器系统可以被配置为向第二组提供多个离散输出状态。第一带电粒子束操纵器和第二带电粒子束操纵器各自可以包括多个段；以及控制器，具有被配置为个体地控制多个段中的每段的操作的电路系统。