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公开(公告)号：CN116417313A
公开(公告)日：2023-07-11
申请号：CN202310385665.8
申请日：2018-09-14
Applicant: ASML荷兰有限公司
IPC: H01J37/244 , H01L27/146
Abstract: 公开了用于实施检测器阵列(600)的系统和方法。根据某些实施例，衬底(600)包括多个感测元件(600‑613)，多个感测元件(600‑613)包括第一元件(611)和第二元件(612)。检测器包括开关元件(619)，开关元件(619)被配置为连接第一元件与第二元件。可以基于响应于感测元件接收到具有预定量的能量的电子而生成的信号来控制开关区域。
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公开(公告)号：CN111095472B
公开(公告)日：2023-05-02
申请号：CN201880060398.4
申请日：2018-09-14
Applicant: ASML荷兰有限公司
IPC: H01J37/244 , H01L27/146
Abstract: 公开了用于实施检测器阵列(600)的系统和方法。根据某些实施例，衬底(600)包括多个感测元件(600‑613)，多个感测元件(600‑613)包括第一元件(611)和第二元件(612)。检测器包括开关元件(619)，开关元件(619)被配置为连接第一元件与第二元件。可以基于响应于感测元件接收到具有预定量的能量的电子而生成的信号来控制开关区域。
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公开(公告)号：CN112243531A
公开(公告)日：2021-01-19
申请号：CN201980038632.8
申请日：2019-06-04
Applicant: ASML荷兰有限公司
IPC: H01J37/244
Abstract: 一种检测器可以被设置有感测元件阵列。所述检测器可以包括：包括所述阵列的半导体衬底，以及被配置为对入射到所述检测器上的带电粒子的数目进行计数的电路。所述检测器的所述电路可以被配置为处理来自所述多个感测元件的输出，并且响应于所述阵列中的感测元件上的带电粒子到达事件来增加计数器。可以使用各种计数模式。计数可以基于能量范围。可以对处于一定的能量范围内的带电粒子的数目进行计数，并且当在感测元件中遇到溢出时，可以设置溢出标记。所述电路可以被配置为确定在每个感测元件处发生的相应带电粒子到达事件的时间戳。可以基于用于实现带电粒子计数的标准来确定所述感测元件的大小。
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公开(公告)号：CN111989761A
公开(公告)日：2020-11-24
申请号：CN201980026865.6
申请日：2019-03-21
Applicant: ASML荷兰有限公司
IPC: H01J37/244 , H01L27/146
Abstract: 公开了检测器和检测系统。根据某些实施例，一种检测器包括衬底，该衬底包括多个感测元件，该多个感测元件包括第一感测元件(402)和第二感测元件(403)，其中至少第一感测元件形成为三角形形状。检测器可以包括切换区域(4009A)，该切换区域配置为连接第一感测元件和第二感测元件。还可以提供多个分区，该多个分区包括将第一多个感测元件连接到第一输出的第一分区和将第二多个感测元件连接到第二输出的第二分区。该多个分区可以以六边形形状来设置。
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公开(公告)号：CN111095472A
公开(公告)日：2020-05-01
申请号：CN201880060398.4
申请日：2018-09-14
Applicant: ASML荷兰有限公司
IPC: H01J37/244 , H01L27/146
Abstract: 公开了用于实施检测器阵列(600)的系统和方法。根据某些实施例，衬底(600)包括多个感测元件(600-613)，多个感测元件(600-613)包括第一元件(611)和第二元件(612)。检测器包括开关元件(619)，开关元件(619)被配置为连接第一元件与第二元件。可以基于响应于感测元件接收到具有预定量的能量的电子而生成的信号来控制开关区域。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112005334B
公开(公告)日：2024-10-11
申请号：CN201980024025.6
申请日：2019-03-14
Applicant: ASML荷兰有限公司
IPC: H01J37/244 , H01L27/146
Abstract: 公开了检测器和检测系统。衬底包括：多个感测元件(311‑313)，包括多个第一感测元件和多个第二感测元件；以及被配置为将多个第一感测元件连接到输出并且将多个第二感测元件连接到输出的多个部段(321‑324)。可以在感测元件之间提供被配置为连接两个或更多个感测元件的开关区域。可以基于响应于感测元件接收到具有预定量的能量和/或束强度的电子而生成的信号来控制开关区域。
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公开(公告)号：CN115485804A
公开(公告)日：2022-12-16
申请号：CN202180032940.7
申请日：2021-03-18
Applicant: ASML荷兰有限公司
IPC: H01J37/147 , H01J37/28
Abstract: 一种装置包括被定位在第一层中、被配置为影响带电粒子束的第一带电粒子束操纵器和被定位在第二层中、被配置为影响带电粒子束的第二带电粒子束操纵器。第一带电粒子束操纵器和第二带电粒子束操纵器各自可以包括具有第一组相对电极和第二组相对电极的多个电极。电连接到第一组的第一驱动器系统可以被配置为向第一组提供多个离散输出状态。电连接到第二组的第二驱动器系统可以被配置为向第二组提供多个离散输出状态。第一带电粒子束操纵器和第二带电粒子束操纵器各自可以包括多个段；以及控制器，具有被配置为个体地控制多个段中的每段的操作的电路系统。
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公开(公告)号：CN115472482A
公开(公告)日：2022-12-13
申请号：CN202211130712.6
申请日：2018-02-01
Applicant: ASML荷兰有限公司
IPC: H01J37/28 , H01J37/244 , G01N23/2251
Abstract: 提供了用于带电粒子检测的方法和装置。检测系统包括信号处理电路(502)，该信号处理电路(502)被配置为基于从多个电子感测元件(244)接收的电子强度数据来生成一组强度梯度。检测系统进一步包括束斑处理模块(506)，该束斑处理模块(506)被配置为：基于一组强度梯度来确定束斑的至少一个边界；以及基于所述至少一个边界来确定多个电子感测元件中的第一组电子感测元件在束斑内。束斑处理模块可以进一步被配置为：基于从第一组电子感测元件接收的电子强度数据来确定束斑的强度值，并且还基于强度值来生成晶片的图像。
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公开(公告)号：CN113614872A
公开(公告)日：2021-11-05
申请号：CN201980086941.2
申请日：2019-12-19
Applicant: ASML荷兰有限公司
IPC: H01J37/147 , H01J37/20 , H01J37/21 , H01J37/28
Abstract: 公开了一种带电粒子束系统(300)。带电粒子束系统包括平台(201)，该平台被配置为保持样本(203)并且能够在X‑Y‑Z轴中的至少一个轴上移动。带电粒子束系统还包括用于确定平台的横向位移和竖直位移的定位感测系统(350,340)以及束偏转控制器(367)，该束偏转控制器(367)被配置为：施加第一信号，以将入射在样本上的初级带电粒子束(330)偏转来至少部分地补偿横向位移；以及施加第二信号，以调整入射在样本上的经偏转的带电粒子束的焦点来至少部分地补偿平台的竖直位移。第一信号和第二信号可以包括分别具有在10kHz至50kHz以及50kHz至200kHz的范围中的高带宽的电信号。另外，公开了一种非暂时性计算机可读介质，包括用于使装置(300)执行方法的指令的集合，装置包括带电粒子源(310)以生成初级带电粒子束(314,330)，该方法包括：确定平台(201)的横向位移，其中平台能够在X‑Y轴中的至少一个轴上移动；以及指示控制器(367)施加第一信号，以使入射在样本(203)上的初级带电粒子束偏转来至少部分地补偿横向位移。
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公开(公告)号：CN119452451A
公开(公告)日：2025-02-14
申请号：CN202380050119.7
申请日：2023-09-01
Applicant: ASML荷兰有限公司
Abstract: 系统、装置和方法包括基于成像系统的功率输入生成参考信号；生成指示样品的扫描的扫描信号；从根据扫描而生成的图像中提取第一扰动数据和第二扰动数据；使用所提取的第一扰动数据和第二扰动数据、参考信号和扫描信号生成图像扰动的校准频率、幅度和相位；将图像扰动的校准频率、幅度和相位与参考信号进行组合以生成补偿信号；并且使用补偿信号来控制多个偏转驱动器，该多个偏转驱动器被用于操纵带电粒子以扫描样品。
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