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公开(公告)号：CN116325066A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202180065676.7
申请日：2021-07-26
Applicant: ASML荷兰有限公司
IPC: H01J37/244
Abstract: 提供了一种用于检查样品的带电粒子束设备。该设备包括像素化电子检测器，该像素化电子检测器用于接收响应于发射的带电粒子束入射到样品上而生成的信号电子。像素化电子检测器包括以网格图案布置的多个像素。多个像素可以被配置为生成多个检测信号，其中每个检测信号与由像素化电子检测器的对应像素接收的信号电子相对应。该设备还包括控制器，该控制器包括被配置为执行以下操作的电路装置：基于由多个像素生成的检测信号来确定样品内的结构的形貌特征，并且基于样品的结构的形貌特征来标识样品内的缺陷。
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