公开(公告)号：CN104871090A

公开(公告)日：2015-08-26

申请号：CN201380063824.7

申请日：2013-09-17

申请人： ASML荷兰有限公司

发明人： J·范肖特 ,  S·霍尔 ,  E·比伊斯 ,  E·雷克斯 ,  G·德弗里斯 ,  H·博特玛 ,  M·范达姆 ,  R·范戈科姆

IPC分类号： G03F7/20 ,  G02B7/182 ,  G02B26/08

CPC分类号： G03F7/70091 ,  G01C9/06 ,  G01C2009/066 ,  G02B7/1821 ,  G03F7/70116 ,  H01F7/0231 ,  H01F7/206 ,  H01H2051/2218 ,  H02K41/00

摘要： 一种用于使例如反射镜位移的致动器(300)，通过改变两个电磁体(370、372、376、378)中的电流提供了具有至少两个自由度的运动。移动部分包括具有被约束为在工作区域之上移动的磁面的永磁体(362)，该工作区域基本上位于垂直于磁体的磁化的方向的第一平面中。电磁体具有基本上位于与第一平面接近平行的第二平面中的极面(380、382)，每个极面基本上填充由移动磁体的面横切的区域的四分之一。光学位置传感器(390)可以通过在电磁体之间的中心空间将辐射束(398)引导在移动磁体处。可以使光瞳反射镜装置中的琢面的尺寸在外围区域中较小，而在中心区域中较大，由此放松聚焦要求。

公开(公告)号：CN104871090B

公开(公告)日：2017-10-20

申请号：CN201380063824.7

申请日：2013-09-17

申请人： ASML荷兰有限公司

发明人： J·范肖特 ,  S·霍尔 ,  E·比伊斯 ,  E·雷克斯 ,  G·德弗里斯 ,  H·博特玛 ,  M·范达姆 ,  R·范戈科姆

IPC分类号： G03F7/20 ,  G02B7/182 ,  G02B26/08

CPC分类号： G03F7/70091 ,  G01C9/06 ,  G01C2009/066 ,  G02B7/1821 ,  G03F7/70116 ,  H01F7/0231 ,  H01F7/206 ,  H01H2051/2218 ,  H02K41/00

摘要： 一种用于使例如反射镜位移的致动器(300)，通过改变两个电磁体(370、372、376、378)中的电流提供了具有至少两个自由度的运动。移动部分包括具有被约束为在工作区域之上移动的磁面的永磁体(362)，该工作区域基本上位于垂直于磁体的磁化的方向的第一平面中。电磁体具有基本上位于与第一平面接近平行的第二平面中的极面(380、382)，每个极面基本上填充由移动磁体的面横切的区域的四分之一。光学位置传感器(390)可以通过在电磁体之间的中心空间将辐射束(398)引导在移动磁体处。可以使光瞳反射镜装置中的琢面的尺寸在外围区域中较小，而在中心区域中较大，由此放松聚焦要求。