公开(公告)号：CN119404280A

公开(公告)日：2025-02-07

申请号：CN202380048322.0

申请日：2023-07-11

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： I·范韦佩伦 ,  M·R·古森

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/28

Abstract: 用于在诸如扫描电子显微镜之类的带电粒子束系统中的增强边缘检测的系统和方法。该方法使用带电粒子到达事件在检测器表面上的入射位置的空间信息来确定何时在样品上检测到边缘特征。诸如带电粒子到达事件分布的质心偏移之类的不对称参数可以被用于确定边缘特征在样品表面上的存在。

公开(公告)号：CN120019466A

公开(公告)日：2025-05-16

申请号：CN202380071945.X

申请日：2023-09-15

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： I·范韦佩伦

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/28

Abstract: 一种带电粒子评估系统，该带电粒子评估系统包括：带电粒子束装置，该带电粒子束装置被配置为将带电粒子束引导到样品上，使得次级粒子和反向散射粒子响应于带电粒子束而被生成；感测元件阵列，该感测元件阵列被配置为响应于来自样品的入射次级粒子或反向散射粒子而生成电信号；以及控制器，该控制器被配置为选择性激活该感测元件集的第一子集(333)，选择性去激活该感测元件集的第二子集(332)，并且将选定子集的电信号组合为检测器输出信号，其中选择性激活和选择性去激活基于次级粒子或反向散射粒子的预测分布。本申请还涉及包括指令集的非暂态计算机可读介质，该指令集能够由控制器的一个或多个处理器执行，以使得控制器控制带电粒子评估系统执行配置具有感测元件阵列的检测器的对应方法。

公开(公告)号：CN119317992A

公开(公告)日：2025-01-14

申请号：CN202380044826.5

申请日：2023-07-13

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： A·J·A·伯克曼 ,  I·范韦佩伦

IPC: H01J37/244

Abstract: 一种带电粒子探测器，包括：感测元件阵列，被配置为响应于带电粒子而生成电信号并且按行排列；光学调制器阵列，各自被连接至感测元件中的相应感测元件并且被配置为响应于电信号而对感测光束进行调制；多个波导，被配置为引导多个感测光束中的每个感测光束穿过光学调制器的行；合束器，被配置为将已经通过光学调制器的相应行的多个感测光束组合成组合束；以及读出单元，被配置为测量对组合束的调制，以探测入射到感测元件上的带电粒子。

公开(公告)号：CN119072764A

公开(公告)日：2024-12-03

申请号：CN202380034738.7

申请日：2023-03-20

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： I·范韦佩伦 ,  任岩

IPC: H01J37/244

Abstract: 一种用于过滤带电粒子束检测器中的误报的方法包括：利用检测器上检测到的带电粒子着陆事件的空间信息。检测器上检测到的带电粒子着陆事件的空间分布与着陆事件的预期分布进行比较，以确定带电粒子着陆事件是真实的概率。

公开(公告)号：CN115769068A

公开(公告)日：2023-03-07

申请号：CN202180045300.X

申请日：2021-06-09

Applicant: ASML荷兰有限公司 ,  ASML控股股份有限公司

Inventor： I·范韦佩伦 ,  A·J·A·伯克曼 ,  M·斯维拉姆 ,  J·L·克鲁泽 ,  S·鲁

IPC: G01N21/956

Abstract: 提供了用于检测衬底表面上的颗粒的系统、装置和方法。示例方法可以包括由光栅结构接收来自辐射源的相干辐射。方法还可以包括由光栅结构基于相干辐射生成经聚焦相干辐射束。方法还可以包括由光栅结构将经聚焦相干辐射束朝向衬底的表面的区域传输。方法还可以包括由光栅结构响应于利用经聚焦相干辐射束照射区域而接收从该区域散射的光子。方法还可以包括通过光电检测器测量由光栅结构接收的光子。方法还可以包括由光电检测器并且基于所测量的光子生成用于检测位于衬底的表面的区域中的颗粒的电子信号。