公开(公告)号：CN112585540B

公开(公告)日：2024-09-17

申请号：CN201980054344.1

申请日：2019-07-03

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： L·P·范戴克 ,  R·J·F·范哈恩 ,  S·辛格 ,  I·马拉克霍夫斯基 ,  R·H·J·奥腾 ,  A·辛格

IPC: G03F7/20

Abstract: 用于确定跨越包括多个经图案化区的衬底的平面内变形(IPD)的方法和设备。所述方法包括：获得指示跨越所述多个经图案化区中的一个图案化区的局部应力分布的区内数据；基于所述区内数据来确定指示跨越所述衬底的全局应力分布的区间数据；以及基于所述区间数据来确定跨越所述衬底的所述IPD。

公开(公告)号：CN112585540A

公开(公告)日：2021-03-30

申请号：CN201980054344.1

申请日：2019-07-03

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： L·P·范戴克 ,  R·J·F·范哈恩 ,  S·辛格 ,  I·马拉克霍夫斯基 ,  R·H·J·奥腾 ,  A·辛格

IPC: G03F7/20

Abstract: 用于确定跨越包括多个经图案化区的衬底的平面内变形(IPD)的方法和设备。所述方法包括：获得指示跨越所述多个经图案化区中的一个图案化区的局部应力分布的区内数据；基于所述区内数据来确定指示跨越所述衬底的全局应力分布的区间数据；以及基于所述区间数据来确定跨越所述衬底的所述IPD。