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发明公开
致动器装置和电子光学柱审中-实审

公开(公告)号：CN116057662A

公开(公告)日：2023-05-02

申请号：CN202180055634.5

申请日：2021-08-04

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： D·F·瓦尔沃特 , M·斯米茨 , T·范德皮尤特

IPC: H01J37/15

Abstract: 本文公开了一种致动器装置(70)，该致动器装置(70)包括：限定腔(71)的壁(504)；壳体(72)，从壁(504)突出并且限定与腔(71)流体连通的内部(73)；致动器(901)，包括：力施加器(74)，被配置为在腔(71)中的组件上施加力；以及致动机构(75)，被配置为驱动力施加器(74)，其中致动机构(75)的至少一部分是在壳体(72)的所述内部内并暴露于腔(71)；以及控制元件(76)，被配置为控制致动机构(75)，其中控制元件(76)经由密封件(77)延伸通过壳体(72)。

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