公开(公告)号：CN112771451B

公开(公告)日：2024-05-07

申请号：CN201980063865.3

申请日：2019-08-26

申请人： ASML荷兰有限公司 ,  ASML控股股份有限公司

发明人： R·H·M·J·布洛克斯 ,  J·G·C·昆尼 ,  O·扎尔 ,  J·H·里昂 ,  S·斯里瓦斯塔瓦

IPC分类号： G03F9/00 ,  G01B13/12 ,  G03F7/20 ,  G01B13/06

摘要： 一种具有气动传感器、温度传感器和控制器的水平传感器系统。所述气动传感器(10)具有用于与参考表面(R)形成参考间隙(GR)的参考出口(100)和用于与测量表面形成测量间隙(GM)的测量出口(200)，其中所述气动传感器被配置成产生指示从所述参考出口流出的气体流量与从所述测量出口流出的气体流量之间的差的气动传感器测量结果。所述温度传感器(510a、510b)被配置成产生指示所述参考表面的温度和/或所述测量表面的温度的温度测量结果。所述控制器(700)被配置成基于所述温度测量结果来调整所述气动传感器测量结果，以产生指示所述参考间隙与所述测量间隙之间的高度差的信号。

公开(公告)号：CN112771451A

公开(公告)日：2021-05-07

申请号：CN201980063865.3

申请日：2019-08-26

申请人： ASML荷兰有限公司 ,  ASML控股股份有限公司

发明人： R·H·M·J·布洛克斯 ,  J·G·C·昆尼 ,  O·扎尔 ,  J·H·里昂 ,  S·斯里瓦斯塔瓦

IPC分类号： G03F9/00 ,  G01B13/12 ,  G03F7/20 ,  G01B13/06

摘要： 一种具有气动传感器、温度传感器和控制器的水平传感器系统。所述气动传感器(10)具有用于与参考表面(R)形成参考间隙(GR)的参考出口(100)和用于与测量表面形成测量间隙(GM)的测量出口(200)，其中所述气动传感器被配置成产生指示从所述参考出口流出的气体流量与从所述测量出口流出的气体流量之间的差的气动传感器测量结果。所述温度传感器(510a、510b)被配置成产生指示所述参考表面的温度和/或所述测量表面的温度的温度测量结果。所述控制器(700)被配置成基于所述温度测量结果来调整所述气动传感器测量结果，以产生指示所述参考间隙与所述测量间隙之间的高度差的信号。