公开(公告)号：CN108780284B

公开(公告)日：2022-04-12

申请号：CN201780017114.9

申请日：2017-02-27

申请人： AZ电子材料(卢森堡)有限公司

发明人： 宫本义大 ,  片山朋英 ,  佐尾高步

IPC分类号： G03F7/40 ,  G03F7/004 ,  G03F7/031 ,  G03F7/033

摘要： 提供一种微细图案形成用组合物、以及使用其的微细图案形成方法，所述微细图案形成用组合物即使适用于厚膜抗蚀层，也使得图案形状良好，尺寸缩小率高，缺陷数少。[解决方案]一种组合物、以及使用其的微细图案形成方法，所述组合物包含乙烯基树脂、具有特定的笼型的立体结构的胺类化合物、以及溶剂。

公开(公告)号：CN108780284A

公开(公告)日：2018-11-09

申请号：CN201780017114.9

申请日：2017-02-27

申请人： AZ电子材料(卢森堡)有限公司

发明人： 宫本义大 ,  片山朋英 ,  佐尾高步

IPC分类号： G03F7/40 ,  G03F7/004 ,  G03F7/031 ,  G03F7/033

CPC分类号： G03F7/40 ,  G03F7/004 ,  G03F7/031 ,  G03F7/033

摘要： [问题]提供一种微细图案形成用组合物、以及使用其的微细图案形成方法，所述微细图案形成用组合物即使适用于厚膜抗蚀层，也使得图案形状良好，尺寸缩小率高，缺陷数少。[解决方案]一种组合物、以及使用其的微细图案形成方法，所述组合物包含乙烯基树脂、具有特定的笼型的立体结构的胺类化合物、以及溶剂。