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公开(公告)号:CN103765143B
公开(公告)日:2015-11-25
申请号:CN201280038052.7
申请日:2012-07-18
申请人: BTU国际公司
IPC分类号: F27B9/24 , F27D11/12 , H01L21/67 , H01L21/677
CPC分类号: H01L21/67109 , F27B9/24 , F27B9/243 , F27B2009/3607 , F27D11/12 , F27D2009/0008 , H01L21/67225 , H01L21/6776
摘要: 本发明提供了一种红外线焙烧炉,其包括外壳集成冷却系统,以在冷却过程中提供作为第一步的高性能的冷却。所述冷却系统包括冷却歧管,该冷却歧管被集成到外壳中并由与邻近的焙烧区相同的材料制成。因为冷却系统由与外壳其余部分相同的材料制成,所述冷却系统可应付被暴露在较高的温度下。所述冷却系统定位成使得其出口的平面相对于下方通过的产品处在特定间隙的水平面处。当产品从冷却歧管下经过时,空气的高压冷却射流朝向产品被向下引导,从而迅速地把产品的温度从较高的焙烧温度降低,并且最小化产品在较高的温度下的滞留时间。
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公开(公告)号:CN103765143A
公开(公告)日:2014-04-30
申请号:CN201280038052.7
申请日:2012-07-18
申请人: BTU国际公司
IPC分类号: F27B9/24 , F27D11/12 , H01L21/67 , H01L21/677
CPC分类号: H01L21/67109 , F27B9/24 , F27B9/243 , F27B2009/3607 , F27D11/12 , F27D2009/0008 , H01L21/67225 , H01L21/6776
摘要: 本发明提供了一种红外线焙烧炉,其包括外壳集成冷却系统,以在冷却过程中提供作为第一步的高性能的冷却。所述冷却系统包括冷却歧管,该冷却歧管被集成到外壳中并由与邻近的焙烧区相同的材料制成。因为冷却系统由与外壳其余部分相同的材料制成,所述冷却系统可应付被暴露在较高的温度下。所述冷却系统定位成使得其出口的平面相对于下方通过的产品处在特定间隙的水平面处。当产品从冷却歧管下经过时,空气的高压冷却射流朝向产品被向下引导,从而迅速地把产品的温度从较高的焙烧温度降低,并且最小化产品在较高的温度下的滞留时间。
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公开(公告)号:CN102414529A
公开(公告)日:2012-04-11
申请号:CN201080019669.5
申请日:2010-02-11
申请人: BTU国际公司
IPC分类号: F27B9/24
摘要: 本发明涉及一种红外线炉系统,其可以调整工件在炉的相应区段中花费的时间的量,而同时使所使用的炉的占据面积、即占地空间的量最小化。各个实施方式允许优化每个区段的所需的热持续期,这然后也使得在每个区段内的加热和/或冷却曲线最优化。设有传输传送带以将工件从工作于第一速度下的一个传送带传输到工作于与第一速度不同的第二速度下的第二传送带,以免损坏工件。设有滚子以支撑工件和保持适当的定向。加热灯支撑组件为加热灯提供电力并且便于更换和替换加热灯。空气输送系统提供保持在正确温度下的过程气体。排气系统以改善的反转变化和减小的噪音条件提供空气流。红外线加热灯通过提供气流横越端部端子而被冷却。加热灯发射的光的波长通过控制被引入炉的区段中的过程气体的参数而调整。
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