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公开(公告)号：CN113446407B
公开(公告)日：2024-01-26
申请号：CN202110324757.6
申请日：2021-03-26
申请人： CKD株式会社
摘要： 本发明涉及蝶阀。提供了能够在抑制成本增加的同时准确地检测电动机处发生的异常振动的蝶阀。蝶阀(1)配设在具备压力传感器(35)的真空室(32)与真空泵(33)之间的配管(34)上，并且进行真空室(32)的压力控制，蝶阀(1)具备：伺服电动机(11)；蝶阀体(9)，其以连接于伺服电动机(11)的连杆(10)为中心沿开方向或者闭方向旋转；以及控制部(13)，其基于压力传感器(35)检测得到的真空室(32)的压力值来调整蝶阀体(132a)，其至少在真空室(32)的压力值稳定的情况下基于在监视时间M1至M6内的蝶阀体(9)的开度的变动量来判断伺服电动机(11)处是否发生异常振动。(9)的开度。控制部(13)具备异常振动检测程序
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公开(公告)号：CN108779864A
公开(公告)日：2018-11-09
申请号：CN201780015954.1
申请日：2017-03-30
申请人： CKD株式会社
摘要： 切换流体的流路的流路切换阀具备：阀体31，在预定面31上形成有沿预定方向以预定长度开口的开口流路32；主体41，沿预定方向以比预定长度短的间隔排列形成有多个开孔，所述多个开孔在与预定面相对的相对面41a上开口，并且所述主体形成有与多个开孔分别连接的连接流路42、43、44。流路切换阀具备：板簧51和致动器，所述板簧51在预定方向上分别安装于阀体的两端部，支撑阀体使得在预定面与相对面之间形成有预定间隙，根据阀体沿预定方向移动的移动量而对阀体施加弹力，所述致动器沿预定方向往复驱动阀体。
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公开(公告)号：CN111379878B
公开(公告)日：2023-05-30
申请号：CN201911233039.7
申请日：2019-12-05
申请人： CKD株式会社
IPC分类号： F16K3/24 , F16K11/065 , F16K11/07 , F16K27/04
摘要： 本公开提供一种滑阀，其具备套筒(22)和阀芯(21)，所述套筒(22)为在轴线方向上延伸的圆筒状，形成有在轴线方向上相互分离的第一阀口(26A)和第二阀口(27A)，所述阀芯(21)为在轴线方向上延伸且具有缩径部(43A)～(43C)的圆柱状，其通过沿轴线方向在套筒内部移动而开闭第一阀口，从而使第一阀口和第二阀口连通和切断。第一阀口包括：第一贯通部(81)，其为在套筒的圆周方向上具有第一宽度的贯通孔；和第二贯通部(82)～(84)，其为在套筒的圆周方向上具有不同于第一宽度的第二宽度的贯通孔。
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公开(公告)号：CN113446407A
公开(公告)日：2021-09-28
申请号：CN202110324757.6
申请日：2021-03-26
申请人： CKD株式会社
摘要： 本发明涉及蝶阀。提供了能够在抑制成本增加的同时准确地检测电动机处发生的异常振动的蝶阀。蝶阀(1)配设在具备压力传感器(35)的真空室(32)与真空泵(33)之间的配管(34)上，并且进行真空室(32)的压力控制，蝶阀(1)具备：伺服电动机(11)；蝶阀体(9)，其以连接于伺服电动机(11)的连杆(10)为中心沿开方向或者闭方向旋转；以及控制部(13)，其基于压力传感器(35)检测得到的真空室(32)的压力值来调整蝶阀体(9)的开度。控制部(13)具备异常振动检测程序(132a)，其至少在真空室(32)的压力值稳定的情况下基于在监视时间M1至M6内的蝶阀体(9)的开度的变动量来判断伺服电动机(11)处是否发生异常振动。
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公开(公告)号：CN108779864B
公开(公告)日：2021-07-27
申请号：CN201780015954.1
申请日：2017-03-30
申请人： CKD株式会社
摘要： 切换流体的流路的流路切换阀具备：阀体31，在预定面31上形成有沿预定方向以预定长度开口的开口流路32；主体41，沿预定方向以比预定长度短的间隔排列形成有多个开孔，所述多个开孔在与预定面相对的相对面41a上开口，并且所述主体形成有与多个开孔分别连接的连接流路42、43、44。流路切换阀具备：板簧51和致动器，所述板簧51在预定方向上分别安装于阀体的两端部，支撑阀体使得在预定面与相对面之间形成有预定间隙，根据阀体沿预定方向移动的移动量而对阀体施加弹力，所述致动器沿预定方向往复驱动阀体。
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公开(公告)号：CN111379878A
公开(公告)日：2020-07-07
申请号：CN201911233039.7
申请日：2019-12-05
申请人： CKD株式会社
IPC分类号： F16K3/24 , F16K11/065 , F16K11/07 , F16K27/04
摘要： 本公开提供一种滑阀，其具备套筒(22)和阀芯(21)，所述套筒(22)为在轴线方向上延伸的圆筒状，形成有在轴线方向上相互分离的第一阀口(26A)和第二阀口(27A)，所述阀芯(21)为在轴线方向上延伸且具有缩径部(43A)～(43C)的圆柱状，其通过沿轴线方向在套筒内部移动而开闭第一阀口，从而使第一阀口和第二阀口连通和切断。第一阀口包括：第一贯通部(81)，其为在套筒的圆周方向上具有第一宽度的贯通孔；和第二贯通部(82)～(84)，其为在套筒的圆周方向上具有不同于第一宽度的第二宽度的贯通孔。
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公开(公告)号：CN101739036A
公开(公告)日：2010-06-16
申请号：CN200910206680.1
申请日：2009-10-28
申请人： CKD株式会社 , 东京毅力科创株式会社
摘要： 一种温度控制装置，通过在配置于被控对象附近的调温部(11)使流体循环来预期地控制被控对象的温度，其包括容纳在支撑被控对象的调温板(10)的内部且循环有流体的调温部(11)、以及使流体冷却并循环的冷却通路(20)、使调温部(11)下游侧的流体原样地再次循环到调温部(11)的旁通路(30)、和使流体加热并循环的加热通路(40)，且这些通路连接到调温部(11)。还包括对从加热通路、冷却通路及旁通路提供到调温部的流体的流量比进行调节的调节装置以及使流体流动以使流体循环的流动装置，加热通路中设置有用于加热流体的加热部，流动装置设置在流体的循环路径中的加热部的下游侧。
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公开(公告)号：CN104620080B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201380047335.2
申请日：2013-09-27
申请人： CKD株式会社
CPC分类号： G01B7/00 , G01B7/003 , G01D5/2412
摘要： 一种静电电容式位移传感器，包括：柱状部件31，由绝缘材料形成；筒状部件33，由金属制成，其内部中插入预定范围的柱状部件31，并且随着阀芯22的位移而进行移动；一对固定电极40A、40B，薄膜状地形成在柱状部件31的外表面部上；补偿电极41、42，薄膜状地形成在柱状部件31的外表面部上；静电屏蔽部件37，在与固定电极40A、40B、筒状部件33以及补偿电极41、42绝缘的状态下覆盖上述电极并接地；以及固定电极端子和补偿电极端子，薄膜状地形成在柱状部件31的外表面部上，与电极40A、40B、41、42分别连接，以及在与静电屏蔽部件37绝缘的状态下在长度方向延伸至静电屏蔽部件37的外部。
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公开(公告)号：CN103930843B
公开(公告)日：2016-02-17
申请号：CN201280056275.6
申请日：2012-11-13
申请人： 东京毅力科创株式会社 , CKD株式会社
CPC分类号： H01L21/67103 , G05D23/1934 , H01L21/67109 , H01L21/67248
摘要： 本发明提供一种温度控制系统(1)，其中，该温度控制系统(1)包括：第1调温单元，其用于贮藏第1温度的液体；第2调温单元，其用于贮藏比第1温度高的第2温度的液体；低温流路(76)，其供来自第1调温单元的流体流动；高温流路(77)，其供来自第2调温单元的流体流动；旁路流路(73)，其用于使流体循环；结合流路(71)，其供在合流部(PA)处使来自低温流路、高温流路以及旁路流路这三个流路的流体合流后的流体流动；调温部(70)，其供来自结合流路的流体流动，对在半导体制造装置(100)中使用的构件进行冷却或加热；以及控制装置(90)，其用于控制在合流部的上游侧安装于上述三个流路的可变阀门(79)的阀开度，而调整上述三个流路的流量分配比例。
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公开(公告)号：CN104620080A
公开(公告)日：2015-05-13
申请号：CN201380047335.2
申请日：2013-09-27
申请人： CKD株式会社
CPC分类号： G01B7/00 , G01B7/003 , G01D5/2412
摘要： 一种静电电容式位移传感器，包括：柱状部件31，由绝缘材料形成；筒状部件33，由金属制成，其内部中插入预定范围的柱状部件31，并且随着阀芯22的位移而进行移动；一对固定电极40A、40B，薄膜状地形成在柱状部件31的外表面部上；补偿电极41、42，薄膜状地形成在柱状部件31的外表面部上；静电屏蔽部件37，在与固定电极40A、40B、筒状部件33以及补偿电极41、42绝缘的状态下覆盖上述电极并接地；以及固定电极端子和补偿电极端子，薄膜状地形成在柱状部件31的外表面部上，与电极40A、40B、41、42分别连接，以及在与静电屏蔽部件37绝缘的状态下在长度方向延伸至静电屏蔽部件37的外部。
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