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公开(公告)号：CN119575759A
公开(公告)日：2025-03-07
申请号：CN202410933994.6
申请日：2024-07-12
Applicant: DIC株式会社
IPC: G03F7/039
Abstract: 本发明提供一种正型感光性树脂组合物、感光性膜、抗蚀剂膜、抗蚀剂下层膜、抗蚀剂永久膜及膜的制造方法，正型感光性树脂组合物包含下述成分A～成分E。成分A：包含衍生自甲酚的酚结构单元、以及衍生自甲醛或水杨醛的一种以上的醛结构单元，具有缩醛基系保护基的酚醛清漆型酚树脂；成分B：光酸产生剂；成分C：选自不具有缩醛基系保护基的酚醛清漆型酚树脂、聚酰亚胺树脂及聚苯并噁唑树脂中的一种以上的树脂；成分D：萘醌型感光剂；成分E：溶剂。
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