公开(公告)号：CN109643060B

公开(公告)日：2022-11-08

申请号：CN201680088993.X

申请日：2016-09-05

申请人： EV 集团 E·索尔纳有限责任公司

发明人： F.P.林德纳 ,  H.扎格尔迈尔 ,  C.舍恩 ,  T.格林斯纳 ,  E.赖斯纳 ,  P.菲舍尔 ,  O.卢克施

IPC分类号： G03F7/00

摘要： 就此提出一种用于压印微和/或纳米结构的设备和方法。

公开(公告)号：CN115629520A

公开(公告)日：2023-01-20

申请号：CN202211359043.X

申请日：2016-09-05

申请人： EV 集团 E·索尔纳有限责任公司

发明人： F.P.林德纳 ,  H.扎格尔迈尔 ,  C.舍恩 ,  T.格林斯纳 ,  E.赖斯纳 ,  P.菲舍尔 ,  O.卢克施

IPC分类号： G03F7/00

摘要： 就此提出一种用于压印微和/或纳米结构的设备和方法。