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1.

发明授权
用于模压微米和/或纳米结构的方法有权

公开(公告)号：CN109997078B

公开(公告)日：2023-03-31

申请号：CN201780074292.5

申请日：2017-10-23

申请人： EV 集团 E·索尔纳有限责任公司

发明人： J.克罗尔 , B.波瓦扎伊

IPC分类号： G03F7/00

摘要： 本发明涉及一种模压微米结构和/或纳米结构的方法。

2.

发明公开
用于模压微米和/或纳米结构的方法有权

公开(公告)号：CN109997078A

公开(公告)日：2019-07-09

申请号：CN201780074292.5

申请日：2017-10-23

申请人： EV 集团 E·索尔纳有限责任公司

发明人： J.克罗尔 , B.波瓦扎伊

IPC分类号： G03F7/00

摘要： 本发明涉及一种模压微米结构和/或纳米结构的方法。