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公开(公告)号：CN103367085B
公开(公告)日：2017-07-07
申请号：CN201310115360.1
申请日：2013-04-03
Applicant: FEI 公司
Abstract: 本发明涉及提供深度分辨图像的带电粒子显微镜。一种利用带电粒子显微镜检查样本的方法，包括以下步骤：‑ 将样本安置在样本保持器上；‑ 使用粒子‑光学柱将至少一个微粒辐射束引导到样本的表面S上，由此产生相互作用，该相互作用导致从样本发出发射辐射；‑ 使用检测器装置检测所述发射辐射的至少一部分，其特征在于以下步骤：‑ 包含所述检测器装置以检测发射辐射中的电子；将所述检测器装置的输出On记录为所述电子的动能En的函数，从而汇集针对En的多个值的测量结果集合M={（On，En）}；‑ 使用计算机处理设备对测量结果集合M自动地去卷积，并将其空间分解为结果集合R={（Vk，Lk)}，其中空间变量V展示出在以表面S为参考的关联离散深度水平Lk处的值Vk，由此n和k是整数序列的成员，并且空间变量V代表样本的作为在样本体积内的位置的函数的物理性质。
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公开(公告)号：CN103367085A
公开(公告)日：2013-10-23
申请号：CN201310115360.1
申请日：2013-04-03
Applicant: FEI公司
Abstract: 本发明涉及提供深度分辨图像的带电粒子显微镜。一种利用带电粒子显微镜检查样本的方法，包括以下步骤：将样本安置在样本保持器上；使用粒子-光学柱将至少一个微粒辐射束引导到样本的表面S上，由此产生相互作用，该相互作用导致从样本发出发射辐射；使用检测器装置检测所述发射辐射的至少一部分，其特征在于以下步骤：包含所述检测器装置以检测发射辐射中的电子；将所述检测器装置的输出On记录为所述电子的动能En的函数，从而汇集针对En的多个值的测量结果集合M={（On，En）}；使用计算机处理设备对测量结果集合M自动地去卷积，并将其空间分解为结果集合R={（Vk，Lk)}，其中空间变量V展示出在以表面S为参考的关联离散深度水平Lk处的值Vk，由此n和k是整数序列的成员，并且空间变量V代表样本的作为在样本体积内的位置的函数的物理性质。
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公开(公告)号：CN102931044A
公开(公告)日：2013-02-13
申请号：CN201210283730.8
申请日：2012-08-10
Applicant: FEI公司
CPC classification number: H01J37/222 , G01N23/22 , G01N2223/423 , H01J37/28 , H01J2237/226
Abstract: 本发明涉及提供深度分辨图像的带电粒子显微镜。一种使用带电粒子显微镜检查样本的方法，包括以下步骤：-将样本安装在样本保持器上；-使用粒子-光学柱将至少一个微粒辐射束引导到样本的表面S上，由此产生交互作用，该交互作用导致从样本发出发射辐射；-使用检测器装置检测所述发射辐射的至少一部分，该方法包括如下步骤：-将所述检测器装置的输出On记录作为所述发射辐射的出射角θn的函数，从而针对θn的多个值汇集测量结果集合M={（On,θn）}，其中所述出射角θn是相对于与S正交的轴测得的；-使用计算机处理设备对测量结果集合M自动去卷积并将其空间分解成结果集合R={（Vk，Lk)}，其中空间变量V表示在以表面S为参考的相关联的离散深度水平Lk处的值Vk,由此n和k是整数序列的成员，并且空间变量V表示样本的作为在其体积内的位置的函数的物理性质。
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公开(公告)号：CN102931044B
公开(公告)日：2016-09-21
申请号：CN201210283730.8
申请日：2012-08-10
Applicant: FEI公司
CPC classification number: H01J37/222 , G01N23/22 , G01N2223/423 , H01J37/28 , H01J2237/226
Abstract: 本发明涉及提供深度分辨图像的带电粒子显微镜。一种使用带电粒子显微镜检查样本的方法，包括以下步骤：将样本安装在样本保持器上；使用‑粒子‑光学柱将至少一个微粒辐射束引导到样本的表面S上，由此产生交互作用，该交互作用导致从样本发出发射辐射；使用检测器装置检测所述发射辐射的至少一部分，该方法包括如下步骤：将所述检测器装置的输出On记录作为所述发射辐射的出射角θn的函数，从而针对θn的多个值汇集测量结果集合M={（On,θn）}，其中所述出射角θn是相对于与S正交的轴测得的；使用计算机处理设备对测量结果集合M自动去卷积并将其空间分解成结果集合R={（Vk，Lk)}，其中空间变量V表示在以表面S为参考的相关联的离散深度水平Lk处的值Vk,由此n和k是整数序列的成员，并且空间变量V表示样本的作为在其体积内的位置的函数的物理性质。
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公开(公告)号：CN102954773A
公开(公告)日：2013-03-06
申请号：CN201210283575.X
申请日：2012-08-10
Applicant: FEI公司
CPC classification number: H01J37/222 , G01N23/22 , G01N2223/423 , H01J37/28 , H01J2237/226
Abstract: 本发明涉及带电粒子显微成像方法。利用带电粒子显微镜法研究样本的方法包括：在多个测量会话中利用带电粒子射束辐照样本表面，每个测量会话都具有不同的射束参数值；在每个测量会话期间检测样本的受激辐射，将被测量与其相关联并为每个测量会话记下被测量的值，从而允许汇集数据对{Pn，Mn}的数据集合，其中，通过如下步骤自动处理该数据集合：定义点扩展函数，对于n的每个值，其具有核值Kn；定义空间变量，其表示样本的作为其体积内的位置的函数的物理性质；定义成像量，对于n的每个值，其具有值Qn=Kn*V；对于n的每个值，确定minD(Mn║Kn*V)，其中在对值Kn施加约束的同时求解V。
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